229 プレーナマグネトロンスパッタリング生成による AlN 膜の結晶配向性と残留応力の窒素ガス圧依存性

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概要

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• 社団法人日本材料学会の論文

著者

• 富永 喜久雄

  徳島大工

• 英 崇夫

  徳島大学

• 富永 喜久雄

  徳島大学

• 日下 一也

  徳島大学

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