尤度プロファイル特徴に基づく異常分類(テーマセッション,時系列パターン認識)

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る

• 本稿では,精密機械に取り付けられたセンサ出力値に基づいて,精密機械が正常に稼働した日(正常日)か,異常を起こした日(異常日)であるのかを分類する尤度プロファイル特徴を提案する.尤度プロファイル特徴は筆者らが提案した尤度ヒストグラムを時系列特徴に拡張したものであり,センサの出力分類を少ない正規分布で表現することで得られる特徴量である.本稿では実際に稼働している精密機器から得られた複数のセンサデータを用いて尤度プロファイル特徴の有効性を示す.

• 2012-02-02

著者

• 堀田 政二

  東京農工大学情報工学科

• 前田 俊二

  日立製作所生産技術研究所

• 渋谷 久恵

  日立製作所生産技術研究所

• 渋谷 久恵

  (株)日立製作所 生産技術研究所

• 安藤 政志

  東京農工大学工学部情報工学科

• 堀田 政二

  東京農工大学

• 前田 俊二

  (株)日立製作所横浜研究所

• 小山 純

  東京農工大学

• 三上 卓也

  東京農工大学

• 安藤 政志

  東京農工大学

• 前田 俊二

  (株)日立製作所 横浜研究所

• 渋谷 久恵

  (株)日立製作所 横浜研究所

関連論文

• 線型多様体表現に基づくビデオのクラス分類 (パターン認識・メディア理解)
• Classifier histogramに基づくパターン分類(若葉研究者の集い5,サマーセミナー(若葉研究者の集い))
• 実環境画像からの撮影位置の特定(若葉研究者の集い4,サマーセミナー(若葉研究者の集い))
• 検索意図を反映したクエリの作成と類似検索(若葉研究者の集い1,サマーセミナー(若葉研究者の集い))
• 特定物体認識から一般物体認識への拡張に関する基礎研究(セッション4,サマーセミナー(若葉研究者の集い))
• 自己参照に基づくパターン欠陥検査法(一般セッション7,コンピュータビジョンとパターン認識のための学習理論)
• 自己参照に基づくパターン欠陥検査法(一般セッション7)
• MIRU2008若手プログラム報告(一般セッション5,移動カメラ画像処理におけるパターン認識とメディア理解)
• 線形弁別特徴変換に関する研究(テーマ関連セッション5,コンピュータビジョンとパターン認識のための学習理論)
• 顕微鏡画像中の有核赤血球の探索(セッション1,サマーセミナー(若葉研究者の集い))
• 欠陥種を考慮に入れた局所一貫性に基づく欠陥パタン照合法
• Whiteningと線形予測を用いた人為的操作を伴うプラントの異常検出 (ヒューマン情報処理)
• Whiteningと線形予測を用いた人為的操作を伴うプラントの異常検出 (パターン認識・メディア理解)
• クラスタリングと部分空間法による異常検知手法
• 線形弁別特徴変換に関する研究(テーマ関連セッション5)
• D-12-6 未知欠陥の分類に有効な特徴選択手法の基礎検討(D-12.パターン認識・メディア理解A(パターンメディアの認識・理解・生成),一般セッション)
• D-12-7 未知欠陥の分類における閾値の決定に関する基礎検討(D-12.パターン認識・メディア理解A(パターンメディアの認識・理解・生成),一般セッション)
• ランダムな特徴選択とバギングを利用した欠陥分類
• 局所一貫性に基づく点群照合法(サマーセミナー(若葉研究者の集い)「最先端ビジョン技術が拓く画像応用の新境地」)
• 特徴選択とベイズ決定則を利用した欠陥分類
• 欠陥種を考慮に入れた局所一貫性に基づく欠陥パタン照合法とその応用
• 局所一貫性による点群の回転照合法と欠陥パターン照合への応用(パターン認識)
• 照明条件制御下における相関マップ統合型画像マッチング方法 : パターン形状にロバストな画像照合技術
• 特徴空間の再帰的分割に基づく半導体欠陥検査手法(テーマ関連セッション2)
• 特徴空間の再帰的分割に基づく半導体欠陥検査手法(テーマ関連セッション,事例ベースメディア解析)
• ユーザの選好を反映した特徴変換(一般,顔・人物・ジェスチャ・行動)
• 線型多様体表現に基づくビデオのクラス分類(一般セッション,文字・文書の認識・理解)
• 明視野顕微鏡における像コントラスト向上技術 : 回折光の偏光を利用した欠陥顕在化技術
• 光学式半導体外観検査における光学技術 (特集:外観検査技術)
• 光学顕微鏡における像コントラスト向上に関する検討
• ユーザの選好を反映した特徴変換(一般,顔・人物・ジェスチャ・行動)
• 近傍パターンと線形多様体を利用した画像分類(サマーセミナー(若葉研究者の集い)「最先端ビジョン技術が拓く画像応用の新境地」)
• 局所特徴量を用いた事例参照に基づく位置同定(一般セッション,文字・文書の認識・理解)
• 特別講演 部分空間識別器の最近の動向とその周辺--メディア工学とバイオメトリクスへの応用 (メディア工学)
• 核非線形相互部分空間法の振る舞いについて(テーマセッション,コンピュータビジョンとパターン認識のための機械学習と最適化,一般)
• 核非線形相互部分空間法の振る舞いについて(テーマセッション,コンピュータビジョンとパターン認識のための機械学習と最適化,一般)
• 近傍整合性の累積評価に基づく回転照合法と欠陥点群分布照合への応用
• 画像解析を用いたステージ精度測定手法の提案
• 画像解析によるスキャニングステージの高精度測定技術
• 点群分布パターン識別に基づく欠陥分類技術
• 欠陥点サンプリング技術を利用した外観検査手法
• 点群分布形状の識別手法に関する検討
• Whiteningと線形予測を用いた人為的操作を伴うプラントの異常検出(一般,顔・人物・ジェスチャ・行動)
• Whiteningと線形予測を用いた人為的操作を伴うプラントの異常検出(一般,顔・人物・ジェスチャ・行動)
• 欠陥分布パターン照合に基づく問題工程特定技術(DIA推薦論文)
• 決定木を利用した分類ルール自動生成技術--半導体ウェーハを対象としたリアルタイム欠陥分類
• 決定木を利用した欠陥分類ルールの自動生成技術
• 第7回小田原賞受賞 欠陥点サンプリング技術を利用した外観検査手法 (特集2 優れた画像処理研究に触れる)
• Gaussian Processesを用いたプラントの異常及びその予兆の検出 (マルチメディア・仮想環境基礎)
• Gaussian Processesを用いたプラントの異常及びその予兆の検出 (パターン認識・メディア理解)
• 散布図情報を用いたLSIウェーハ薄膜多層パターンの比較検査手法
• 散布図情報を用いたLSIウェーハ薄膜多層パターン比較検査アルゴリズム(画像認識, コンピュータビジョン)
• 線型部分空間識別器と最大事後確率則の関係(一般セッション,Computational Photography)
• 欠陥分布パターン識別手法の検討 (第6回 知能メカトロニクスワークショップ--人間を支援するメカトロニクス技術) -- (特別セッション 検査の知能化/生産システム)
• 3E-2 センサモデルと投票に基づく異常検知(人工知能一般(1),一般セッション,人工知能と認知科学,情報処理学会創立50周年記念)
• H-022 センサモデルと投票に基づく発電機の異常検知の検討(画像認識・メディア理解,一般論文)
• 赤外線画像マッチングによるTFT基板の高精度ショート欠陥検出
• 複数パターン情報を利用した統計的はずれ値検出による微小欠陥の認識手法(テーマ関連セッション1)
• 複数パターン情報を利用した統計的はずれ値検出による微小欠陥の認識手法(テーマセッション(1),CVのためのパターン認識・学習理論の新展開)
• 統計パターン比較と特徴的はずれ値検出による微小欠陥の認識手法(一般セッション, ロボットとの相互作用のための言語処理・パターン認識・メディア理解)
• 統計パターン比較と特徴的はずれ値検出による微小欠陥の認識手法(一般セッション, ロボットとの相互作用のための言語処理・パターン認識・メディア理解)
• 線型多様体間距離を利用したビデオのクラス分類(サマーセミナー(若葉研究者の集い)「最先端ビジョン技術が拓く画像応用の新境地」)
• インタラクティブな画像検索のための画像分割に基づくクエリの作成 (パターン認識・メディア理解)
• Classifier histogramに基づくパターン識別 (パターン認識・メディア理解)
• D-12-129 マルチクラス識別問題に対する最適識別境界の学習(D-12. パターン認識・メディア理解,一般セッション)
• 異常検出におけるSimilarity Based ModelingとGaussian Processesの関連に関して (医用画像)
• 異常検出におけるSimilarity Based ModelingとGaussian Processesの関連に関して (パターン認識・メディア理解)
• 異常検出におけるSimilarity Based ModelingとGaussian Processesの関連に関して (画像工学)
• 部分空間識別器の最近の動向とその周辺 : メディア工学とバイオメトリクスへの応用(メディア処理とバイオメトリクス及び一般)
• H-001 学習を伴った近傍平均パターンを利用する識別法(H分野:画像認識・メディア理解)
• 微分極性比較法によるLSIウェーハ多層パターンの自動外観検査
• 散布図情報を用いた重回帰分析によるしきい値設定手法の提案
• 比較検査における数値解析手法を用いたしきい値設定支援
• LSIウェーハパターン自動外観検査における最適しきい値の自動生成
• 生産システム分野における多次元センシングの応用
• Gaussian Processesを用いたプラントの異常及びその予兆の検出(MR/ARの実用化に向けたCV/PR技術の課題と展望)
• Gaussian Processesを用いたプラントの異常及びその予兆の検出(MR/ARの実用化に向けたCV/PR技術の課題と展望)
• 尤度ヒストグラムに基づく異常検出(一般セッション,文字・文書の認識と理解)
• Classifier histogramに基づくパターン識別(一般セッション,文字・文書の認識と理解)
• CLAFIC, Well Balanced Perceptoron再訪 : 我々はぐるぐる回っているのか?(テーマセッション,PRMUのフロンティア・グランドチャレンジ)
• 多センサの多次元表現と部分空間識別器に基づく異常検知(一般セッション,文字・文書の認識と理解)
• クラス毎の最近傍プロトタイプとそのκ近傍のプロトタイプにおけるノルム平均に基づく最近傍決定則によるパターン識別手法
• 65nmノード対応高性能明視野光学式ウェーハ外観検査装置「HA-3000形」 (特集1 ナノメートル時代の最先端半導体デバイスの量産を支えるベストソリューション)
• フレーム投票ヒストグラムに基づくビデオのクラス分類(一般セッション,文字・文書の認識と理解)
• インタラクティブな画像検索のための画像分割に基づくクエリの作成(一般セッション,文字・文書の認識と理解)
• 異常検出におけるSimilarity Based ModelingとGaussian Processesの関連に関して(一般セッション,医用画像処理分野における計測・認識・理解)
• 異常検出におけるSimilarity Based ModelingとGaussian Processesの関連に関して(一般セッション,医用画像処理分野における計測・認識・理解)
• 異常検出におけるSimilarity Based ModelingとGaussian Processesの関連に関して(一般セッション,医用画像処理分野における計測・認識・理解)
• 半導体ウェ-ハ外観不良検査の効果的運用 (特集 サブクォ-タミクロンデバイスに対応する半導体製造・検査システム)
• 複数の部分空間を用いた画像分類(若葉研究者の集い3,サマーセミナー2011(若葉研究者の集い))
• Gaussian Processesに基づく異常予兆検出への多重解像度解析の導入 (マルチメディア・仮想環境基礎)
• Gaussian Processesに基づく異常予兆検出への多重解像度解析の導入 (パターン認識・メディア理解)
• カスケ-ドパタ-ンマッチングによるLSIウェ-ハ多層パタ-ン自動外観検査
• Gaussian Processesに基づく異常予兆検出への多重解像度解析の導入(実世界センシングとその応用)
• Gaussian Processesに基づく異常予兆検出への多重解像度解析の導入(実世界センシングとその応用)
• 尤度プロファイル特徴に基づく異常分類(テーマセッション,時系列パターン認識)
• 尤度プロファイル特徴に基づく異常分類(テーマセッション,時系列パターン認識)
• 部分空間法に基づく残差ベクトル軌跡による異常検知手法の検討
• 尤度プロファイル特徴に基づく異常分類
• 対話的教示欠陥選択に基づく効率的な実欠陥・虚報弁別技術(画像認識,コンピュータビジョン)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク