照明条件制御下における相関マップ統合型画像マッチング方法 : パターン形状にロバストな画像照合技術

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概要

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• In order to realize highly sensitive image comparison, a method for robust image matching, which is not affected by the form or the density of the patterns contained in the images, is required. Thus, a method that utilizes the characteristics of a normalized correlation coefficient is proposed in this study. Using this method, an object image obtained under active illumination control is subdivided into multiple smaller images, and the correlation coefficient maps are individually computed. The matching position is subsequently determined by integrating the maps. The effectiveness of the method is confirmed through experiments.

• 社団法人精密工学会の論文
• 2007-09-05

著者

• 酒井 薫

  日立製作所生産技術研究所

• 前田 俊二

  日立製作所生産技術研究所

• 酒井 薫

  (株)日立製作所

• 前田 俊二

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 芝田 行広

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 岡部 隆史

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 窪田 仁志

  (株)日立ハイテクノロジーズデバイス製造装置事業統括本部

• 前田 俊二

  (株)日立製作所横浜研究所

• 前田 俊二

  (株)日立製作所 横浜研究所

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