窪田 仁志 | (株)日立ハイテクノロジーズデバイス製造装置事業統括本部

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概要

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関連著者

• 窪田 仁志

  (株)日立ハイテクノロジーズデバイス製造装置事業統括本部

• 前田 俊二

  日立製作所生産技術研究所

• 前田 俊二

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 前田 俊二

  (株)日立製作所 横浜研究所

• 前田 俊二

  (株)日立製作所横浜研究所

• 窪田 仁志

  日立東京エレクトロニクス(株)電子装置事業部

• 牧平 坦

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 酒井 薫

  日立製作所生産技術研究所

• 酒井 薫

  (株)日立製作所

• 小野 眞

  日立製作所 生産技術研究所

• 岩田 尚史

  日立製作所 生産技術研究所

• 芝田 行広

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 岡部 隆史

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 小野 眞

  株式会社日立製作所生産技術研究所

• 松山 幸雄

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 岩田 尚史

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 池田 英弘

  (株)日立製作所ストレージシステム事業部

• 窪田 仁志

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 広井 高志

  日立製作所 生産技術研究所

• 中谷 光雄

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 小野 眞

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 中谷 光雄

  (株)日立製作所電子デバイス事業部

• 広井 高志

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 遠藤 文昭

  (株)日立製作所半導体事業部

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著作論文

• 照明条件制御下における相関マップ統合型画像マッチング方法 : パターン形状にロバストな画像照合技術
• 光学的顕在化法と濃淡画像処理手法による薄膜磁気ヘッド外観検査装置
• 赤外線画像マッチングによるTFT基板の高精度ショート欠陥検出
• 微分極性比較法によるLSIウェーハ多層パターンの自動外観検査
• 比較検査における数値解析手法を用いたしきい値設定支援
• LSIウェーハパターン自動外観検査における最適しきい値の自動生成

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