牧平 坦 | (株)日立製作所生産技術研究所

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概要

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関連著者

• 牧平 坦

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 秋山 伸幸

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 中田 俊彦

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 前田 俊二

  日立製作所生産技術研究所

• 前田 俊二

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 窪田 仁志

  (株)日立ハイテクノロジーズデバイス製造装置事業統括本部

• 前田 俊二

  (株)日立製作所 横浜研究所

• 水野 文夫

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 近松 秀一

  日立電子エンジニアリング(株)

• 土井 秀明

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 水野 文夫

  (株)日立製作所 計測器事業部

• 芹澤 正芳

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 野副 真理

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 井古田 まさみ

  (株)日立製作所デバイス開発センタ

• 細江 卓朗

  日立電子エンジニアリング(株)埼玉工場

• 神宮 孝広

  日立電子エンジニアリング(株)埼玉工場

• 伊藤 慎

  日立電子エンジニアリング(株)埼玉工場

• 阿部 茂

  日立電子エンジニアリング(株)埼玉工場

• 窪田 仁志

  日立東京エレクトロニクス(株)電子装置事業部

• 遠藤 文昭

  (株)日立製作所半導体事業部

• 細江 卓朗

  日立電子エンジニアリング 光学応用装置ビジネスユニット営業技術部

• 近松 秀一

  日立電子エンジニアリング

• 前田 俊二

  (株)日立製作所横浜研究所

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著作論文

• 差画像検出方式異物検査装置の開発
• しまパターン投影式自動焦点合わせ法(第2報) : 実用上の課題と対策
• しまパターン投影式自動焦点合わせ法(第1報) : 理論解析と実験的検証
• 比較検査における数値解析手法を用いたしきい値設定支援
• LSIウェーハパターン自動外観検査における最適しきい値の自動生成

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