比較検査における数値解析手法を用いたしきい値設定支援
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概要
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濃淡画像の比較検査において, 検査対象に応じてしきい値をすみやかに設定するしきい値設定支援方式を開発した。本方式は, 検査対象の正常部を誤って検出する誤検出に着目し, 誤検出率が許容値より少なくなる最小のしきい値を最適値として算出するものである。本論文では, しきい値の設定手順を, 初期しきい値算出, 試し検査・目視確認, しきい値修正の3段階のステップにより構成した。そして, 初期しきい値算出, しきい値修正において, 数値解析の手法である逐次近似法を応用し, 高速にしきい値の更新を行う手法を提案した。本支援方式をLSIウェーハパターン検査装置に適用し, 評価した結果, 各ステップのしきい値更新を効率的に実行でき, すみやかに上記最適値が得られることを確認した。これにより, 検査対象に応じたしきい値を短時間で設定でぎ, 誤検出が少なくLSI製造ラインに適切なフィードバックが可能な有効な検査を実現することが可能になった。この結果, 新品種の検査にも即座に対応できるようになった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-01-25
著者
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前田 俊二
日立製作所生産技術研究所
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前田 俊二
(株)日立製作所生産技術研究所
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窪田 仁志
(株)日立ハイテクノロジーズデバイス製造装置事業統括本部
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牧平 坦
(株)日立製作所生産技術研究所
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窪田 仁志
日立東京エレクトロニクス(株)電子装置事業部
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遠藤 文昭
(株)日立製作所半導体事業部
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前田 俊二
(株)日立製作所横浜研究所
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前田 俊二
(株)日立製作所 横浜研究所
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