赤外線画像マッチングによるTFT基板の高精度ショート欠陥検出
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概要
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液晶ディスプレイ用TFT基板に発生したショートを放射赤外線画像を用いたマッチングにより高精度に検出する技術を開発した. 本技術は, リーク電流によってショート部が発熱することに基づいている. 本論文では, 発熱が基板上のどこに位置するかを高精度に特定するため, ショート部の赤外線画像において配線パターンの位置を求め, この配線パターンに対するショート位置を検出する方式を提案する. この方式を実現するため, (1) 微弱な発熱の顕在化を目的とした, 電圧印加に同調した放射赤外線画像検出方式, (2) 被検査TFT基板ごとにテンプレートを抽出するサブピクセルテンプレートマッチングによる赤外線画像上での配線パターンの高精度位置検出方式を立案した. これらの方式を実験により評価し, 配線パターンに対するショート位置の検出精度±5μmを得, 不良TFTが識別できることを確認した. これにより, 不良TFT基板の救済が可能になった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-09-25
著者
-
前田 俊二
日立製作所生産技術研究所
-
小野 眞
日立製作所 生産技術研究所
-
前田 俊二
(株)日立製作所生産技術研究所
-
窪田 仁志
(株)日立ハイテクノロジーズデバイス製造装置事業統括本部
-
小野 眞
株式会社日立製作所生産技術研究所
-
中谷 光雄
(株)日立製作所生産技術研究所
-
小野 眞
(株)日立製作所生産技術研究所
-
窪田 仁志
日立東京エレクトロニクス(株)電子装置事業部
-
中谷 光雄
(株)日立製作所電子デバイス事業部
-
前田 俊二
(株)日立製作所横浜研究所
-
前田 俊二
(株)日立製作所 横浜研究所
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