光学的顕在化法と濃淡画像処理手法による薄膜磁気ヘッド外観検査装置
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概要
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- 計測自動制御学会の論文
- 1994-05-31
著者
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岩田 尚史
日立製作所 生産技術研究所
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窪田 仁志
(株)日立ハイテクノロジーズデバイス製造装置事業統括本部
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松山 幸雄
(株)日立製作所生産技術研究所
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岩田 尚史
(株)日立製作所生産技術研究所
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池田 英弘
(株)日立製作所ストレージシステム事業部
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窪田 仁志
(株)日立製作所生産技術研究所
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