LSI工場における歩留り低下要因の分解手法
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概要
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大規模集積回路(LSI)の工場では,迅速な歩留り向上が原価低減の観点で重要な課題である.歩留り向上活動では,「歩留り低下への度合い(歩留り影響度)が大きい不良要因の対策に,経営リソースを集中する」といった戦略が効果的である.そのためには,歩留り低下要因をその影響度に応じて分解する手法の開発が望まれている.本稿では,異物や傷などの欠陥性不良による歩留り影響度を,工程ゾーン毎に簡易に計算するデータ解析手法を提案し,また,その計算精度をモンテカルロ・シミュレーションで評価した結果を述べる.
- 社団法人日本経営工学会の論文
- 2008-06-15
著者
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小野 眞
日立製作所 生産技術研究所
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岩田 尚史
日立製作所 生産技術研究所
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小野 眞
株式会社日立製作所生産技術研究所
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岩田 尚史
株式会社日立製作所生産技術研究所
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根本 和典
株式会社日立ハイテクノロジーズ
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渡辺 健二
株式会社日立ハイテクノロジーズ
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