LSIウェーハパターン自動外観検査における最適しきい値の自動生成
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
LSIウェーハ上の多層パターンを対象にした自動外観検査において, 一部の層に生じたグレインを誤って検出することなくサブミクロンの欠陥を検出する方式を開発した. 本方式は, 同ーチップ内の繰返しパターンであるセルパターン同士の比較検査において, 検出した濃淡画像の差画像に対し, パターンの各領域でグレインの発生状況に応じた最適なしきい値を自動生成し, 2値化に用いることにより, 設計パターン情報やプロセス情報を用いることなく, 各層に適した基準を有する欠陥判定を実現し, 欠陥を信頼性高く検出するものである. 本論文では, 被検査パターンである複数のセルパターン自体から, パターンエッジで囲まれた各領域ごとにグレインに対応した均一なしきい値を自動生成する「エッジを保存したグレインノイズスムージングアルゴリズム」を提案した. 本アルゴリズムを実際のLSIウェーハ検査に適用し, 1〜1.3μm程度のグレインが一部の層にあってもこれを誤って検出することなく, パターンエッジに存在する欠陥やグレインが発生していない領域に存在する欠陥など0.5μm以上の欠陥を安定に検出できることを確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-02-25
著者
-
前田 俊二
日立製作所生産技術研究所
-
前田 俊二
(株)日立製作所生産技術研究所
-
窪田 仁志
(株)日立ハイテクノロジーズデバイス製造装置事業統括本部
-
牧平 坦
(株)日立製作所生産技術研究所
-
前田 俊二
(株)日立製作所 横浜研究所
関連論文
- 自己参照に基づくパターン欠陥検査法(一般セッション7,コンピュータビジョンとパターン認識のための学習理論)
- 自己参照に基づくパターン欠陥検査法(一般セッション7)
- 線形弁別特徴変換に関する研究(テーマ関連セッション5,コンピュータビジョンとパターン認識のための学習理論)
- 欠陥種を考慮に入れた局所一貫性に基づく欠陥パタン照合法
- Whiteningと線形予測を用いた人為的操作を伴うプラントの異常検出 (ヒューマン情報処理)
- Whiteningと線形予測を用いた人為的操作を伴うプラントの異常検出 (パターン認識・メディア理解)
- クラスタリングと部分空間法による異常検知手法
- 線形弁別特徴変換に関する研究(テーマ関連セッション5)
- D-12-6 未知欠陥の分類に有効な特徴選択手法の基礎検討(D-12.パターン認識・メディア理解A(パターンメディアの認識・理解・生成),一般セッション)
- D-12-7 未知欠陥の分類における閾値の決定に関する基礎検討(D-12.パターン認識・メディア理解A(パターンメディアの認識・理解・生成),一般セッション)
- ランダムな特徴選択とバギングを利用した欠陥分類
- 局所一貫性に基づく点群照合法(サマーセミナー(若葉研究者の集い)「最先端ビジョン技術が拓く画像応用の新境地」)
- 特徴選択とベイズ決定則を利用した欠陥分類
- 欠陥種を考慮に入れた局所一貫性に基づく欠陥パタン照合法とその応用
- 局所一貫性による点群の回転照合法と欠陥パターン照合への応用(パターン認識)
- 照明条件制御下における相関マップ統合型画像マッチング方法 : パターン形状にロバストな画像照合技術
- 特徴空間の再帰的分割に基づく半導体欠陥検査手法(テーマ関連セッション2)
- 特徴空間の再帰的分割に基づく半導体欠陥検査手法(テーマ関連セッション,事例ベースメディア解析)
- 光学的顕在化法と濃淡画像処理手法による薄膜磁気ヘッド外観検査装置
- ユーザの選好を反映した特徴変換(一般,顔・人物・ジェスチャ・行動)
- 差画像検出方式異物検査装置の開発
- 明視野顕微鏡における像コントラスト向上技術 : 回折光の偏光を利用した欠陥顕在化技術
- 光学式半導体外観検査における光学技術 (特集:外観検査技術)
- 光学顕微鏡における像コントラスト向上に関する検討
- ユーザの選好を反映した特徴変換(一般,顔・人物・ジェスチャ・行動)
- 近傍整合性の累積評価に基づく回転照合法と欠陥点群分布照合への応用
- 画像解析を用いたステージ精度測定手法の提案
- 画像解析によるスキャニングステージの高精度測定技術
- Whiteningと線形予測を用いた人為的操作を伴うプラントの異常検出(一般,顔・人物・ジェスチャ・行動)
- Whiteningと線形予測を用いた人為的操作を伴うプラントの異常検出(一般,顔・人物・ジェスチャ・行動)
- Gaussian Processesを用いたプラントの異常及びその予兆の検出 (マルチメディア・仮想環境基礎)
- Gaussian Processesを用いたプラントの異常及びその予兆の検出 (パターン認識・メディア理解)
- 散布図情報を用いたLSIウェーハ薄膜多層パターンの比較検査手法
- 散布図情報を用いたLSIウェーハ薄膜多層パターン比較検査アルゴリズム(画像認識, コンピュータビジョン)
- 3E-2 センサモデルと投票に基づく異常検知(人工知能一般(1),一般セッション,人工知能と認知科学,情報処理学会創立50周年記念)
- H-022 センサモデルと投票に基づく発電機の異常検知の検討(画像認識・メディア理解,一般論文)
- 赤外線画像マッチングによるTFT基板の高精度ショート欠陥検出
- 複数パターン情報を利用した統計的はずれ値検出による微小欠陥の認識手法(テーマ関連セッション1)
- 複数パターン情報を利用した統計的はずれ値検出による微小欠陥の認識手法(テーマセッション(1),CVのためのパターン認識・学習理論の新展開)
- 統計パターン比較と特徴的はずれ値検出による微小欠陥の認識手法(一般セッション, ロボットとの相互作用のための言語処理・パターン認識・メディア理解)
- 統計パターン比較と特徴的はずれ値検出による微小欠陥の認識手法(一般セッション, ロボットとの相互作用のための言語処理・パターン認識・メディア理解)
- しまパターン投影式自動焦点合わせ法(第2報) : 実用上の課題と対策
- しまパターン投影式自動焦点合わせ法(第1報) : 理論解析と実験的検証
- 異常検出におけるSimilarity Based ModelingとGaussian Processesの関連に関して (医用画像)
- 異常検出におけるSimilarity Based ModelingとGaussian Processesの関連に関して (パターン認識・メディア理解)
- 異常検出におけるSimilarity Based ModelingとGaussian Processesの関連に関して (画像工学)
- 微分極性比較法によるLSIウェーハ多層パターンの自動外観検査
- 散布図情報を用いた重回帰分析によるしきい値設定手法の提案
- 比較検査における数値解析手法を用いたしきい値設定支援
- LSIウェーハパターン自動外観検査における最適しきい値の自動生成
- Gaussian Processesを用いたプラントの異常及びその予兆の検出(MR/ARの実用化に向けたCV/PR技術の課題と展望)
- Gaussian Processesを用いたプラントの異常及びその予兆の検出(MR/ARの実用化に向けたCV/PR技術の課題と展望)
- 尤度ヒストグラムに基づく異常検出(一般セッション,文字・文書の認識と理解)
- 多センサの多次元表現と部分空間識別器に基づく異常検知(一般セッション,文字・文書の認識と理解)
- 65nmノード対応高性能明視野光学式ウェーハ外観検査装置「HA-3000形」 (特集1 ナノメートル時代の最先端半導体デバイスの量産を支えるベストソリューション)
- 異常検出におけるSimilarity Based ModelingとGaussian Processesの関連に関して(一般セッション,医用画像処理分野における計測・認識・理解)
- 異常検出におけるSimilarity Based ModelingとGaussian Processesの関連に関して(一般セッション,医用画像処理分野における計測・認識・理解)
- 異常検出におけるSimilarity Based ModelingとGaussian Processesの関連に関して(一般セッション,医用画像処理分野における計測・認識・理解)
- 半導体ウェ-ハ外観不良検査の効果的運用 (特集 サブクォ-タミクロンデバイスに対応する半導体製造・検査システム)
- Gaussian Processesに基づく異常予兆検出への多重解像度解析の導入 (マルチメディア・仮想環境基礎)
- Gaussian Processesに基づく異常予兆検出への多重解像度解析の導入 (パターン認識・メディア理解)
- カスケ-ドパタ-ンマッチングによるLSIウェ-ハ多層パタ-ン自動外観検査
- Gaussian Processesに基づく異常予兆検出への多重解像度解析の導入(実世界センシングとその応用)
- Gaussian Processesに基づく異常予兆検出への多重解像度解析の導入(実世界センシングとその応用)
- 尤度プロファイル特徴に基づく異常分類(テーマセッション,時系列パターン認識)
- 尤度プロファイル特徴に基づく異常分類(テーマセッション,時系列パターン認識)
- 部分空間法に基づく残差ベクトル軌跡による異常検知手法の検討
- 尤度プロファイル特徴に基づく異常分類
- 対話的教示欠陥選択に基づく効率的な実欠陥・虚報弁別技術(画像認識,コンピュータビジョン)