散布図情報を用いた重回帰分析によるしきい値設定手法の提案
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概要
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A method of threshold setting has been developed based on a multiple regression analysis in an automated visual inspection. The threshold is assumed to be a linear combination of the local difference, local brightness, local contrast, etc. of the two gray-scale images to be compared. The coefficients of the linear combination are determined by the multiple regression analysis using a scattered diagram of the two gray-scale images. By this method good performance can be realized to justify the threshold setting according to the patterns to be inspected even when the inspected patterns are changed. This method is confirmed to be useful for a comparison inspection of complicated LSI multi-layer wafer patterns as a result of some experiments.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2000-12-05
著者
-
前田 俊二
日立製作所生産技術研究所
-
前田 俊二
(株)日立製作所生産技術研究所
-
岡 健次
(株)日立製作所生産技術研究所
-
前田 俊二
(株)日立製作所横浜研究所
-
前田 俊二
(株)日立製作所 横浜研究所
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