酒井 薫 | 日立製作所生産技術研究所
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概要
関連著者
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酒井 薫
日立製作所生産技術研究所
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前田 俊二
日立製作所生産技術研究所
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前田 俊二
日立製作所 横浜研究所
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和田 俊和
和歌山大学システム工学部
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和田 俊和
和歌山大学
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淺海 徹哉
和歌山大学システム工学部
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酒井 薫
(株)日立製作所
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小倉 将義
和歌山大学システム工学部
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高宮 隆弘
和歌山大学システム工学部
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前田 俊二
(株)日立製作所生産技術研究所
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岡部 隆史
(株)日立製作所生産技術研究所
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前田 俊二
(株)日立製作所 横浜研究所
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芝田 行広
(株)日立製作所生産技術研究所
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窪田 仁志
(株)日立ハイテクノロジーズデバイス製造装置事業統括本部
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前田 俊二
(株)日立製作所横浜研究所
著作論文
- 自己参照に基づくパターン欠陥検査法(一般セッション7,コンピュータビジョンとパターン認識のための学習理論)
- 自己参照に基づくパターン欠陥検査法(一般セッション7)
- 線形弁別特徴変換に関する研究(テーマ関連セッション5,コンピュータビジョンとパターン認識のための学習理論)
- 線形弁別特徴変換に関する研究(テーマ関連セッション5)
- 照明条件制御下における相関マップ統合型画像マッチング方法 : パターン形状にロバストな画像照合技術
- 特徴空間の再帰的分割に基づく半導体欠陥検査手法(テーマ関連セッション2)
- 特徴空間の再帰的分割に基づく半導体欠陥検査手法(テーマ関連セッション,事例ベースメディア解析)
- 散布図情報を用いたLSIウェーハ薄膜多層パターンの比較検査手法
- 散布図情報を用いたLSIウェーハ薄膜多層パターン比較検査アルゴリズム(画像認識, コンピュータビジョン)
- 複数パターン情報を利用した統計的はずれ値検出による微小欠陥の認識手法(テーマ関連セッション1)
- 複数パターン情報を利用した統計的はずれ値検出による微小欠陥の認識手法(テーマセッション(1),CVのためのパターン認識・学習理論の新展開)
- 統計パターン比較と特徴的はずれ値検出による微小欠陥の認識手法(一般セッション, ロボットとの相互作用のための言語処理・パターン認識・メディア理解)
- 統計パターン比較と特徴的はずれ値検出による微小欠陥の認識手法(一般セッション, ロボットとの相互作用のための言語処理・パターン認識・メディア理解)