低Noise/高飽和電荷量CMOS Image Sensorの開発(固体撮像技術および一般)
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概要
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PD領域のSi基板をエッチングしない画素専用素子分離(FLAT isolation)と専用トランジスタ(FLAT transistor)を新規開発し、従来にない低ダメージCMOS Image Sensor (CIS)を開発した。本技術により、従来比でSi-SiO_2の界面準位密度を大幅に低減し、低1/f noise/低暗電流(2桁減)、高飽和信号電荷量(1.6倍)を同時に満たす世界最小1.12μm pitch pixel CISを実現したので報告する。
- 2012-03-23
著者
-
山本 亮
ソニー(株)
-
柳田 将志
ソニーセミコンダクタタ九州株式会社IS開発部門
-
松本 静徳
ソニーエルエスアイデザイン株式会社第3LSI設計部門イメージセンサ設計部
-
春田 勉
ソニー株式会社半導体事本部イメージセンサ事業部
-
片岡 豊隆
ソニー(株)
-
片岡 豊隆
ソニー株式会社コンスーマプロダクツ&デバイスグループ半導体事業本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
大野 圭一
ソニー株式会社
-
柳田 将志
ソニー株式会社
-
山本 亮
ソニー株式会社
-
江崎 孝之
ソニー株式会社半導体事業本部
-
池田 晴美
ソニー株式会社コンスーマプロダクツ&デバイスグループ半導体事業本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
平山 照峰
ソニー株式会社コンスーマプロダクツ&デバイスグループ半導体事業本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
齊藤 新一郎
ソニー株式会社半導体事業本部
-
水田 恭平
ソニー株式会社コンスーマプロダクツ&デバイスグループ半導体事業本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
糸長 総一郎
ソニー
-
糸長 総一郎
ソニー株式会社コンスーマプロダクツ&デバイスグループ半導体事業本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
大石 哲也
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
石渡 弘明
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
田中 裕介
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
若野 寿史
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
的場 義久
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
小町 潤
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
勝俣 幹生
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
荒川 伸一
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
渡邉 慎也
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
松本 静徳
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
永野 隆史
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
江崎 孝之
ソニー(株)
-
齊藤 新一郎
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
片岡 豊隆
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
池田 晴美
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
糸長 総一郎
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
水田 恭平
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
春田 勉
ソニー株式会社コアデバイス開発本部セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
糸長 総一郎
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
田中 裕介
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
永野 隆史
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
大石 哲也
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
勝俣 幹生
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
春田 勉
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
的場 義久
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
齊藤 新一郎
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
小町 潤
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
水田 恭平
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
片岡 豊隆
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
荒川 伸一
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
渡邉 慎也
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
池田 晴美
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
若野 寿史
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
石渡 弘明
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
松本 静徳
ソニー株式会社 コアデバイス開発本部 セミコンダクタテクノロジー開発部門
-
平山 照峰
ソニー株式会社R&Dプラットフォームセミコンダクタテクノロジー開発部門
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