307 MEMS技術を応用したCMP用マイクロパターンパッドの研究 : 異なる形状パターンによる研磨レートの比較(GS 生産加工I)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-03-15
著者
-
木村 景一
九州工業大学
-
カチョーンルンルアン パナート
九州工業大学
-
カチョーンルンルアン P.
阪大
-
木村 景一
九州工大
-
木村 景一
九州工業大学大学院
-
安田 佳祐
九州工業大学大学院
-
田中 明穂
九州工業大学
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