B12 CMPパッド上に滴下されたスラリーの流動シミュレーション(B1 流体工学(液膜流れ))

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概要

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• 社団法人日本機械学会の論文
• 2008-03-19

著者

• 木村 景一

  九州工業大学

• 永山 勝也

  九州工大

• 永山 勝也

  九工大情報工

• 酒井 智美

  TOTO(株)

• 酒井 智美

  九州工大院

• 木村 景一

  九州工大

• 木村 景一

  九州工業大学大学院

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