1P1-C08 マイクロ多分岐切換バルブチップの最適設計
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概要
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The world's first 10-way micro switching valve chip as one of Biochemical IC chip was developed successfully. This switching valve chip has a special rotary mechanism with the silicon rubber leak-preventions and the precise auto-positioning mechanism. This chip succeeded to switch ten outlets from one inlet without dead volume under high leakage pressure (>700kPa).But this valve was switched by external solenoid. The final goal is to develop the switching valve with a built-in micro actuator. Therefore, whether the outlet was able to be switched with a built-in micro actuator was investigated. And the design of the switching valve was optimized.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
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