多分岐切換用ロータリ形マイクロバルブチップ : 第3報, バイアスバネ機構の内蔵とバルブ性能測定

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概要

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• 2010-04-25

著者

• 長谷川 忠大

  芝浦工業大学電気工学科

• 木下 就介

  大阪工業大学大学院工学研究科

• 竹島 秀幸

  大阪工業大学大学院工学研究科

• 生田 幸士

  名古屋大学工学研究科

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