多分岐切換用ロータリ形マイクロバルブチップ : 第1報,ロータリ機構を利用した多分岐切換原理の実証(機械力学,計測,自動制御)
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概要
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The world's first 10-way micro switching valve chip as one of Biochemical IC chip was developed successfully. This switching valve chip has a special rotary mechanism with the silicon rubber leakpreventions and the precise auto-positioning mechanism. This chip succeeded to switch ten outlets from one inlet without dead volume under high leakage pressure (>700kPa). Since the micro fabrication was made by our original "hybrid microstereolithography" (hybrid-IH process), the micro assembling and bonding are not needed. This chip is generally useful for various kinds of micro chemical devices.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-03-25
著者
-
長谷川 忠大
芝浦工業大学電気工学科
-
生田 幸士
名古屋大学工学研究科
-
中嶋 健一郎
大阪工業大学機械工学科
-
生田 幸士
名古屋大学 工
-
生田 幸士
名古屋大学工学部
-
長谷川 忠大
大阪工業大学機械工学科
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