多分岐切換用ロータリ形マイクロバルブチップ : 第3報,バイアスバネ機構の内蔵とバルブ性能測定(機械力学,計測,自動制御)
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概要
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This paper describes the improvement of the multi-directional micro switching valve chip with ten outlets. This switching valve chip has a special rotary mechanism, allowing this chip to quickly switch among ten outlets under high pressure (higher than 500kPa). However, users needed to adjust the positioning of the push-rod against the rotor and the positioning of the bias spring against the plunger, when users utilized the switching valve chip. Therefore, we developed the bias spring mechanism that doesn't need adjustment. The switching valve succeeded to built the bias spring mechanism into the chip. Moreover, the valve performance such as flow rate vs. pressure property was evaluated experimentally.
- 2010-04-25
著者
-
長谷川 忠大
芝浦工業大学電気工学科
-
木下 就介
大阪工業大学大学院工学研究科
-
竹島 秀幸
大阪工業大学大学院工学研究科
-
生田 幸士
名古屋大学工学研究科
-
生田 幸士
名古屋大学大学院工学研究科
-
生田 幸士
名古屋大
-
生田 幸士
名古屋大学 工
-
生田 幸士
名古屋大学工学部
-
生田 幸士
東大 大学院情報理工学系研究科
-
生田 幸士
名古屋大学大学院工学研究科 マイクロシステム工学専攻
-
生田 幸士
名古屋大学大学院工学研究科マイクロ・ナノシステム工学専攻
-
生田 幸士
東京大学 大学院 情報理工学系研究科
-
長谷川 忠大
芝浦工業大学 工学部 電気工学科
-
長谷川 忠大
芝浦工業大学
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