アクチュエータ駆動多方向切換バルブチップの開発(MEMSとナノテクノロジー2)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2004-06-18

著者

• 長谷川 忠大

  芝浦工業大学電気工学科

• 中嶋 健一郎

  大阪工業大学機械工学科

• 生田 幸士

  名大院工マイクロ・ナノシステム専攻

• 生田 幸士

  名大

• 長谷川 忠大

  大工大

• 中嶋 健一郎

  大工大

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