1A1-63-091 化学 IC 用マイクロポンプチップの開発
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概要
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化学ICファミリーの中でも特に重要となるSMA駆動方式のマイクロポンプチップを開発した。ハイプリッドマイクロ光造刑法を用い光硬化ポリマーとSMAのハイブリット構造となっている。現段階ではワンチップに3個のマイクロポンプが内蔵されている。本チップを用いることで, 外部ポンプ無しで化学IC内の微少化学流体の搬送が可能となる。他の化学ICチップと結合した実験系を構築し, 本チップの有効性を実証した。
- 一般社団法人日本機械学会の論文
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