1P1-63-096 マルチポリマー・マイクロ光造形法 : 造形システムの試作と光 MEMS への応用
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概要
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性質の異なる複数の紫外線硬化樹脂を用いて, 機能デバイスを作製する造形法(マルチポリマー・マイクロ光造形法)を提案する。本手法を用いれば, 樹脂の光学的, 機械的さらには電気的特性などを活かして, ポリマー製デバイスを作製できる。実際に, 造形システムを試作し, さらに, 屈折率の異なる2つの樹脂を用いて, 種々の光導波路を作製した。
- 社団法人日本機械学会の論文
著者
-
生田 幸士
名古屋大学工学研究科
-
丸尾 昭二
名古屋大学工学部
-
生田 幸士
名古屋大
-
生田 幸士
名古屋大学 工
-
丸尾 昭二
横浜国立大学 大学院工学研究院システムの創生部門
-
蜷川 稔英
名古屋大
-
蜷川 稔英
名古屋大学
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