2P1-C11 化学IC用カップリング手法の開発(59. マイクロマシンの基礎と応用)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-06-08
著者
-
長谷川 忠大
芝浦工業大学電気工学科
-
生田 幸士
名大院工マイクロ・ナノシステム専攻
-
生田 幸士
名大
-
丸尾 昭二
名大
-
丸尾 昭二
横浜国立大学 大学院工学研究院システムの創生部門
-
長谷川 忠大
名大
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