2P1-C12 化学IC用マイクロポンプの最適設計と気体液体輸送の実現(59. マイクロマシンの基礎と応用)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2001-06-08

著者

• 長谷川 忠大

  芝浦工業大学電気工学科

• 生田 幸士

  名大院工マイクロ・ナノシステム専攻

• 生田 幸士

  名大

• 安達 隆夫

  名大

• 長谷川 忠大

  名大

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