3217 ステッピングモータをアクチュエータとする半導体ウエハ搬送ダイレクトドライブ型3関節ロボットアームの軌道計画と制御(GS17 システム制御・解析(1))
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-09-21
著者
-
小島 宏行
群馬大学大学院工学研究科
-
小島 宏行
群馬大学
-
細谷 肇
群馬産業技術センター
-
榎本 剛
メイテック
-
本村 健悟
群馬大学
-
大橋 由隆
群馬大学
-
桑野 好文
日本サーボ
-
桑野 好文
日本サーボ株式会社
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