ダミーフィルが配線の高周波特性に与える影響(微細化関連技術,システム設計及び一般)
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概要
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本稿はダミーフィルが配線特性に与える影響について議論する.近年の微細プロセスでは,配線の疎密による配線厚さのばらつきを抑制するため,ダミーフィルが広く用いられている。従来,ダミーフィルが配線特性に与える影響は主に配線容量について議論されてきた.しかし,10GHzを超える領域では,ダミーフィル内に流れる渦電流が配線抵抗にも影響を与える.本研究ではダミーフィルが配線特性に与える影響を測定するTEGを試作し,実測で評価を行なった.測定結果より,信号配線の上下配線層のダミーフィルが配線特性に強く影響し,周波数50GHzではダミーフィルの影響によって配線抵抗が約20%増加することを確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-05-04
著者
-
土谷 亮
京都大学大学院情報学研究科通信情報システム専攻
-
小野寺 秀俊
京都大学情報学研究科
-
小野寺 秀俊
京都大学大学院 情報学研究科 通信情報システム専攻
-
小野寺 秀俊
京都大学情報学研究科:jst Crest
-
土谷 亮
京都大学情報学研究科通信情報システム専攻
-
土谷 亮
京都大学大学院情報学研究科
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