C-12-40 レイアウト規則性導入によるパターン転写精度の改善効果(C-12.集積回路,一般セッション)
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-09-02
著者
-
土谷 亮
京都大学情報学研究科
-
土谷 亮
京都大学大学院情報学研究科通信情報システム専攻
-
小野寺 秀俊
京都大学情報学研究科
-
小野寺 秀俊
京都大学情報学研究科:jst Crest
-
砂川 洋輝
京都大学情報学研究科通信情報システム専攻
-
土谷 亮
京都大学情報学研究科通信情報システム専攻
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