Deposition of High-Quality Silicon Oxynitride Film at Low Temperature by Using a Sputtering-Type Electron Cyclotron Resonance Plasma
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1997-12-15
著者
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Muraoka Katsunori
Interdisciplinary Gt-aduate School Of Engineering Sciences Kyushu Universit
-
Muraoka Katsunori
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Matsuo Keiji
Fukuoka Institute Of Technology
-
NAKASHIMA Hiroshi
Advanced Science and Technology Center for Cooperative Research, Kyushu University
-
Gao D
Advanced Science And Technology Center For Cooperative Research Kyushu University
-
FURUKAWA Kazuo
Department of Physics, Faculty of Science, Kagoshima Unviersity
-
Nakashima Hiroshi
Department Of Preventive Medicine And Public Health National Defense Medical College
-
Liu Y‐c
Advanced Science And Technology Center For Cooperative Research Kyushu University
-
FURUKAWA Katsuhiko
Advanced Science and Technology Center for Cooperative Research, Kyushu University
-
Nakashima H
Hyogo University
-
Nakashima Hideharu
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
GAO Da-Wei
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
KASHIWAZAKI Yasuhiro
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
LIU Yi-Chun
Advanced Science and Technology Center for Cooperative Research, Kyushu University
-
TSURUSHIMA Toshio
Graduate School of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University
-
Furukawa K
High Energy Accelerator Res. Organization (kek) Ibaraki Jpn
-
Furukawa Katsuhiko
Advanced Science And Technology Center For Cooperative Research Kyushu University
-
Kashiwazaki Yasuhiro
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Liu Yi-chun
Advanced Science And Technology Center For Cooperative Research Kyushu University
-
Tsurushima T
Graduate School Of Information Science And Electrical Engineering Kyushu University
-
Tsurushima Toshio
Graduate School Of Information Science And Electrical Engineering Kyushu University
-
Nakashima Hiroshi
Advanced Science And Technology Center For Cooperative Research Kyushu University
-
Nakashima Hiroshi
Advanced Science and Technology Center for Cooperative
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