Applicabilities of Laser Thomson Scattering to Various Kinds of Discharge Plasmas
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概要
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In order to establish the applicability conditions of incoherent laser Thomson scattering (LTS) for plasma diagnostics of electron properties to various kinds of discharge plasmas, a method of approach was discussed, and criteria for applicability were established. These criteria were then applied to three representative discharge plasmas: inductively coupled plasmas (ICP) in Ar/CF_4 and Ar/O_2 gases, and a microwave-produced plasma in a H_2/CH_4 gas. Implications of the results are discussed.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2002-03-25
著者
-
村岡 克紀
中部大 工
-
内野 喜一郎
九州大学大学院総合理工学研究院
-
Uo Koji
Plasma Physics Laboratory Kyoto University
-
Muraoka Katsunori
Interdisciplinary Gt-aduate School Of Engineering Sciences Kyushu Universit
-
Muraoka K
Kyushu Univ. Kasuga Jpn
-
Matsuo Keiji
Fukuoka Institute Of Technology
-
野口 正紀
Fukuoka Institute of Technology
-
山形 幸彦
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
内野 喜一郎
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
村岡 克紀
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
Pradoong Suanpoot
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
Uchino K
Kyushu Univ. Fukuoka
-
Uchino Kiichiro
Department Of Applied Science For Electronics And Materials Interdisciplinary Graduate School Of Eng
-
Uchino Kiichiro
Department Of Energy Conversion Kyushu University
-
山形 幸彦
九州大学大学院総合理工学研究院
-
成重 将史
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
野口 正紀
Department of Electrical Engineering, Fukuoka Institute of Technology
-
Uchino K
Kyushu Univ.
-
野口 正紀
福岡工大
-
野口 正紀
福岡工業大学
-
Pradoong Suanpoot
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University
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