27pA39P 磁気中性線放電プラズマのスパッタリングへの応用(プラズマ基礎・応用)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2001-11-20
著者
-
村岡 克紀
中部大 工
-
内野 喜一郎
九州大学大学院総合理工学研究院
-
大坪 昌久
宮崎大学
-
Uo Koji
Plasma Physics Laboratory Kyoto University
-
Muraoka Katsunori
Interdisciplinary Gt-aduate School Of Engineering Sciences Kyushu Universit
-
Muraoka K
Kyushu Univ. Kasuga Jpn
-
Matsuo Keiji
Fukuoka Institute Of Technology
-
Yaw Okraku-Yirenkyi
宮崎大学工学研究科システム工学専攻
-
内野 喜一郎
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
Uchino K
Kyushu Univ. Fukuoka
-
Uchino Kiichiro
Department Of Applied Science For Electronics And Materials Interdisciplinary Graduate School Of Eng
-
Uchino Kiichiro
Department Of Energy Conversion Kyushu University
-
Okraku-yirenkyi Yaw
宮崎大
-
Okraku-yirenkyi Yaw
Department Of Electrical Electronic Engineering Miyazaki University
-
成 烈文
宮崎大・工
-
Okraku-Yirenkyi Yaw
宮崎大・工
-
大坪 昌久
宮崎大・工
-
本田 親久
宮崎大・工
-
内野 喜一郎
九州大・総
-
村岡 克紀
九州大・総
-
Uchino K
Kyushu Univ.
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