リソグラフィー用KrFエキシマレーザーの出力スペクトルの高精度評価
スポンサーリンク
概要
著者
-
内野 喜一郎
Kyushu University
-
内野 喜一郎
九州大学大学院総合理工学研究院
-
溝口 計
ギガフォトン(株)
-
溝口 計
ギガフォトン(株)要素開発部
-
若林 理
(株)小松製作所 研究本部第二イノベーションセンター
-
越智 秀臣
ギガフォトン(株)製造部
-
内野 喜一郎
九州大学大学院 総合理工学研究院
-
溝口 計
ギガフォトン
関連論文
- レーザートムソン散乱法による小型マイクロ波放電型イオンエンジンにおけるプラズマ状態の測定 (イオン加速グリッド耐久認定用数値解析 JIEDI(JAXA Ion Engine Development Initiatives) ツールの研究開発ワークショップ論文集)
- レーザー学会産業賞を受賞して : 高出力ArFエキシマレーザー開発の経緯
- PDPマイクロ放電の赤外トムソン散乱計測(ディスプレイに関する技術全般,LCD(バックライトを含む),PDP,有機/無機EL,CRT,FED,VFD,LEDなどのディスプレイに関するデバイス,部品・材料及び応用技術,発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
- リソグラフィ用2KHz KrF エキシマレーザの開発
- レーリー散乱による中真空領域の実用真空計の検討
- 半導体露光用エキシマレーザー・EUV光源の過去, 現状そして将来
- 九州大学における極端紫外光源開発研究
- プラズマ中の電界のレーザー分光法による新しい計測法の開発
- 局所分析法の最先端 : 超高感度極微量質量分析システムの開発(初期太陽系物質科学の最前線)
- リソグラフィー用KrFエキシマレーザーの出力スペクトルの高精度評価
- ステッパー用高安定出力狭帯域エキシマレーザー
- エキシマレーザー用ガスの光電離特性の研究
- リソグラフィ用1kHz ArF エキシマレーザの耐久性評価
- 半導体の超微細加工に用いられるKrF 1kHzエキシマレ-ザ用電源装置 (電力変換装置特集) -- (エネルギ-の有効利用)
- 2a-Y-12 共鳴散乱による高温プラズマ中の不純物密度測定IV
- 4p-NY-4 PFC-XXプラズマ不純物密度の共鳴散乱法による測定 I
- 30p-W-16 トカマクプラズマ中水素原子数の共鳴散乱計測用真空紫外レーザの開発 I
- 3a-D-4 同時刻二波長干渉法による大気中インパルスアークプラズマの密度測定
- リソグラフィ用ArFエキシマレーザーの現状と将来
- One-Dimensional Simulation of Photo-Detached Electrons in Negative lon Plasmas
- 2p-RC-2 RFC-XX-Mにおけるプラズマの閉じ込め特性
- Criteria of Applicability of Laser Thomson Scattering Measurements ofElectron Properties in Reactive Plasmas
- Thomson Scattering Measurement of Electron Density and Temperature of a Microwave Plasma Produced in a Hydrogen Gas at a Moderate Pressure
- グロー放電プラズマのレーザートムソン散乱による研究
- A Thomson Scattering Measurement System based on an Infrared laser
- Detection Limit of Laser Thomson Scattering for Low Density Discharge Plasmas
- 半導体露光装置用ArFエキシマレーザの高繰返しグロー放電に及ぼす放電幅とガス密度くぼみの影響
- Laser Thomson Scattering Measurements of Electron Density and Temperature Profiles of a Striated Plasma in a Plasma Display Panel (PDP)-Like Discharge
- Thomson Scattering Diagnostics of Glow Discharge Plasmas Produced in Raman Active Gases
- 天体望遠鏡とレーザを用いた大気中放電計測
- PDPマイクロ放電の赤外トムソン散乱計測
- Eu and Yb Substituent Effects on the Properties of Pb(Zr_Ti_)O_3-Pb(Mn_Sb_)O_3 Ceramics: Development of a New High-Power Piezoelectric with Enhanced Vibrational Velocity
- Mn-Modified Pb(Mg_Nb_)O_3-PbTiO_3 Coramics : Improved Mechanical Quality Factors for High-Power Transducer Applications
- 大気中放電計測用レーザ波面測定装置の開発
- 中真空領域の標準真空計及び実用真空計にレーザー光のレーリー散乱を用いる可能性に関する研究
- 超微細加工を支える急峻大出力の「エキシマレ-ザ用パルスパワ-」 (電力変換システム特集) -- (エネルギ-の有効利用)
- 放電プラズマのレーザー散乱計測
- ダイヤモンド薄膜作製におけるプラズマ内粒子挙動のレーザー応用計測
- マイクロ放電プラズマ計測用トムソン散乱システムの開発
- 多結晶ジルコン酸チタン酸鉛における切断角度変更による圧電特性の向上
- 磁気中性線放電プラズマの最適生成条件に関する研究
- リソグラフィ用ArFエキシマレーザー光源およびEUV光源の開発の現状
- 音響光学偏向器を用いた大気中放電のレーザ計測
- 音響光学偏向器を用いた高速レーザ干渉計の開発
- レーザ波面測定法とレーザ干渉法によるインパルス放電計測
- Performance Improvement of a Discharge-Pumped ArF Excimer Laser by Xenon Gas Addition
- A Fractal Analysis on Domain Related Electric Field Induced Acoustic Emission in Ferroelectric Ceramics
- 放電プラズマ計測へのレｰザｰ散乱および蛍光法の適用 : 電子特性, 電界測定を中心にして
- 第3段階非協同レーザートムソン散乱によるプラズマ計測の進展
- レーザーによるプラズマ計測
- 25pB01 第3ステージ非協同レーザートムソン散乱によるプラズマ計測の進展(プラズマ基礎・応用I)
- レーザー応用プラズマ計測の新展開 : 第3段階非協同トムソン散乱計測を中心にして
- H2/CH4マイクロ波放電プラズマ内における分子及び電子の挙動のレーザー散乱計測
- Applicabilities of Laser Thomson Scattering to Various Kinds of Discharge Plasmas
- マルチヌル放電を用いた新しいスパッタシステムの開発
- グロー放電プラズマのレーザートムソン散乱計測による研究
- 30aA03 [招待講演]高気圧気体中の放電プラズマのレーザー散乱計測(プラズマ計測)
- 27pA39P 磁気中性線放電プラズマのスパッタリングへの応用(プラズマ基礎・応用)
- Time Dependence of the Mechanical Quality Factor in "Hard" Lead Zirconate Titanate Ceramics: Development of an Internal Dipolar Field and High Power Origin
- 低圧環境下におけるダイヤモンド核形成初期過程の制御
- High Power Piezoelectric Characteristics of BiScO_3-PbTiO_3-Pb(Mn_Nb_)O_3
- Diamond Nucleation Enhancement on Si by Controlling Ion-Bombardment Energy in Electron Cyclotron Resonance Plasma
- Investigation of Elastic Nonlinearities in Pb(Zn_Nb_)O_3-PbTiO_3 and Pb(Mg_Nb_)O_3-PbTiO_3 Slngle Crystals : Electrical Properties of Condonsed Matter
- Crystal Growth and Piezoelectric Properties of Mn-Substituted Pb(Zn_Nb_)O_3 Single Crystal(Electrical Properties of Condensed Matter)
- はじめに(リソグラフィ用EUV(極端紫外)光源研究の現状と将来展望)
- 次世代リソグラフィ紫外ガスレーザーの現状と開発の方向
- F2レーザリソグラフィの課題とレーザ光源開発への取り組み (特設記事 21世紀を創るエレクトロニクス技術)
- 次世代リソグラフィ紫外ガスレーザーの現状と開発の方向
- F_2レーザーの現状とリソグラフィー応用への展望
- リソグラフィ用F_2レーザー
- プラズマ計測におけるレーザートムソン散乱スペクトルの微弱光観測の極限的性能
- インパルス放電計測用トムソン散乱分光装置の開発
- シャックハルトマン法によるインパルス放電計測
- レーザトリガによるインパルス放電の時間制御
- シャックハルトマン法による放電計測の検討
- 半導体露光装置用ArFエキシマレーザの高繰返しグロー放電に及ぼす放電幅とガス密度くぼみの影響
- プラズマディスプレイ放電プラズマの電子温度・密度のレーザートムソン散乱計測に関する研究
- プラズマディスプレイ放電プラズマの電子温度・密度のレーザートムソン散乱計測に関する研究
- EID2000-2 プラズマディスプレイ放電プラズマの電子温度・密度のレーザートムソン散乱計測に関する研究
- Acoustic Emission in Damaged Ferroelectric Lead Zirconate Titanate Ceramics
- 高気圧プラズマのトムソン散乱計測とレーザ擾乱の検討
- 微量ガス制御によるリソグラフィ用ArFエキシマレーザーの高性能化
- プロセスプラズマの分光計測
- ラマン散乱による中真空領域混合気体の分圧測定
- リソグラフイ用短波長エキシマレーザー発開の動向
- リソグラフィー用エキシマレーザー
- An Ultrasonic Motor Using a Metal-Ceramic Composite Actuator Generating Torsional Displacement
- A Study of Acoustic Emission in Piezoelectric Multilayer Ceramic Actuator
- レーザー生成プラズマのトムソン散乱計測
- フェムト秒レーザーを用いた2次中性粒子質量分析法の開発と宇宙試料分析への応用
- レーザー生成プラズマ極端紫外光源の高出力・長寿命化技術
- 高温プラズマ中の水素原子のバルマ-系列レ-ザ-蛍光法による研究
- マイクロ波空洞共振器による微小導電性異物の検出特性
- EUV光源開発の現状
- トムソン散乱法による金属蒸気混入アーク放電プラズマの電子密度・電子温度計測
- 4.高Zプラズマのパラメータ診断(プラズマによる短波長光源研究の進展とその物理)
- トムソン散乱法による金属蒸気混入アーク放電プラズマの電子密度・電子温度計測