EUV光源開発の現状
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
半導体集積回路の微細化は情報化社会の飛躍的発展を支えており,半導体集積回路の高密度化を支えてきたのは微細な回路パターンを形成するリソグラフィ技術である.EUV(Extreme ultraviolet)露光機が市場に投入されるための懸案は,量産用EUV光源の出力が低いことである.本解説では,プラズマEUV光源の開発がどこまで進展しているかについて,最近の動向と現状を解説することにする.
- 2013-06-25
著者
-
溝口 計
EUVA
-
溝口 計
ギガフォトン
-
遠藤 彰
早稲田大学
-
東口 武史
宇都宮大学
-
東口 武史
宇都宮大工:宇都宮大CORE
-
遠藤 彰
チェコ科学アカデミーHiLaseプロジェクト:早稲田大学理工学術院
-
溝口 計
ギガフォトン株式会社
-
東口 武史
宇都宮大学大学院工学研究科:宇都宮大学オプティクス教育研究センター
関連論文
- 6. プラズマの時間的不連続性を利用した電磁波制御 : DARC(プラズマと電磁波の相互作用の新規応用 : 空間的・時間的デザインが拓く新機能)
- 26pYP-8 アルカリ金属を用いる極端紫外光の放射特性(プラズマ科学(高エネルギー密度プラズマ・その他),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 30a-SK-6 偏極陽電子源の開発VIII : Compton散乱を用いた偏極陽電子源の開発
- 相対論的電離面を用いた電磁波の放射
- 6p-YN-11 短パルスマイクロ波によるイオン波の励起と高速イオンの発生II
- 29a-YX-5 短パルスマイクロ波による分散関係に従わないイオン波の励起
- レーザー学会産業賞を受賞して : 高出力ArFエキシマレーザー開発の経緯
- 半導体露光用エキシマレーザー・EUV光源の過去, 現状そして将来
- 放電励起カリウムプラズマを用いる小型極端紫外光源の放射特性
- レーザーコンプトンによるフェムト秒X線発生
- レーザーコンプトン散乱を用いた小型フェムト秒高輝度X線発生装置
- 28pSM-6 フォトカソードRFガンによる高輝度電子線発生
- 28pSM-5 レーザートムソン散乱による短パルスX線の発生
- 29a-PS-149 レーザーフォトカソードRF電子銃の製作と性能試験
- 全固体ピコ秒光源の開発
- 20p-G-4 ポジトロニウムのレーザー冷却IV : 熱脱離低速ポジトロニウムの測定
- 20p-G-3 ポジトロニウムのレーザー冷却III : 陽電子のトラッピング
- 20p-G-2 ポジトロニウムのレーザー冷却II : 水素原子の1s→2s励起とポジトロニウムの1s→2p励起
- 20p-G-1 ポジトロニウムのレーザー冷却I : 高密度ポジトロニウム生成と短時間レーザー冷却
- OPOを用いた小型LIDAR装置の開発
- 28pSM-6 フォトカソードRFガンによる高輝度電子線発生
- 28pSM-5 レーザートムソン散乱による短パルスX線の発生
- リソグラフィー用KrFエキシマレーザーの出力スペクトルの高精度評価
- リソグラフィ用ArFエキシマレーザーの現状と将来
- 高強度レーザープラズマ実験
- EUVAにおけるEUV光源開発計画
- 矩形導波管の境界効果を用いたDARCの周波数上昇
- 静磁場を印加したDARCからの電磁波の放射
- 23pQJ-2 超短パルスレーザー駆動パルス放電によるテラヘルツ放射特性(23pQJ プラズマ科学(高エネルギー密度プラズマ・プラズマ応用),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 23pQJ-1 フィラメント大気プラズマによる超短パルスレーザーのスペクトル赤方偏移特性(23pQJ プラズマ科学(高エネルギー密度プラズマ・プラズマ応用),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- レーザーコンプトン散乱によるフェムト秒X線の発生
- レーザコンプトン散乱法によるフェムト秒X線発生 (レーザ・量子機器小特集)
- キャピラリー放電プラズマ導波路のダイナミクスと電子加速応用
- 大型陽電子源用炭酸ガスレ-ザシステムの概念設計
- 半導体製造用リソグラフィ用光源の最新動向とコマツエキシマレ-ザの性能
- 30a-YL-6 コンプトン散乱によるフェムト秒X線発生 : フェムト秒レーザーの時間安定化
- 磁化レーザー航跡場からの電磁波放射 : チェレンコフ航跡
- 26pYP-7 大気中での長尺フィラメンテーションによる超短パルスレーザースペクトルの赤方偏移特性(プラズマ科学(高エネルギー密度プラズマ・その他),領域2,プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- キャピラリー放電生成カリウムプラズマからの極端紫外放射特性
- 21aZH-1 アルゴンガス中を伝搬する超短パルスレーザーの圧縮伝搬特性(21aZH プラズマ科学(非線形現象・発振・加速),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 高強度レーザーのためのキャピラリー放電プラズマ導波路の開発
- リソグラフィ用ArFエキシマレーザー光源およびEUV光源の開発の現状
- はじめに(リソグラフィ用EUV(極端紫外)光源研究の現状と将来展望)
- 次世代リソグラフィ紫外ガスレーザーの現状と開発の方向
- F2レーザリソグラフィの課題とレーザ光源開発への取り組み (特設記事 21世紀を創るエレクトロニクス技術)
- 次世代リソグラフィ紫外ガスレーザーの現状と開発の方向
- F_2レーザーの現状とリソグラフィー応用への展望
- リソグラフィ用F_2レーザー
- 28aGY-5 フラッシュ電離によるテラヘルツ電磁波の周波数変換(28aGY プラズマ科学(ビーム応用・プラズマ応用),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 28aGY-6 相対論的電離面による周期静電場のテラヘルツ放射(28aGY プラズマ科学(ビーム応用・プラズマ応用),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 希土類プラズマ極端紫外光源 : レーザー生成ガドリニウムプラズマによる6.7-nm EUV光源
- 超臨界条件下における閃亜鉛鉱およびザクロ石と2M塩化物水溶液間における2価金属イオンの同時分配実験
- 放電励起希土類プラズマからの極端紫外光放射
- 超短パルスレーザー誘起放電プラズマからのTHz放射特性
- レーザー生成プラズマ極端紫外光源の高出力・長寿命化技術
- 02aB22P XeレーザプラズマEUV光源の高速イオン緩和技術の開発(プラズマ応用)
- カリウムプラズマによる40nm光源の放射特性
- 25pCG-12 宇都宮大学オプティクス教育研究センターにおける光学教育(25pCG 物理教育,領域13(物理教育,物理学史,環境物理))
- 25pYE-10 多価イオンプラズマからの極端紫外放射特性(25pYE プラズマ基礎・プラズマ科学(プラズマ推進・電磁波源),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 放電励起希土類プラズマからの極端紫外光放射
- 放電励起カリウムプラズマを用いる小型極端紫外光源の放射特性
- 25pYE-8 高速なプラズマ生成によるTHz波の周波数上昇に関する研究(25pYE プラズマ基礎・プラズマ科学(プラズマ推進・電磁波源),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理)
- 超短パルスレーザー誘起放電プラズマからのTHz放射特性
- EUV光源開発の現状
- 5.プラズマと量子ビームによる短波長光源(プラズマによる短波長光源研究の進展とその物理)
- 高原子番号元素による軟X線光源の放射特性
- 27aTM-8 フォトカソードRF-GUNによる電子ビームを用いた高強度レーザーの直接プロファイル計測の研究(27aTM レーザーコンプトン散乱・電子源・計測,ビーム物理領域)