5.プラズマと量子ビームによる短波長光源(<小特集>プラズマによる短波長光源研究の進展とその物理)

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概要

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• 最近になって,ポストEUVリソグラフィ露光光源波長として,6.x nmの波長が注目され始めている.ハーフピッチが16nm以下になると,これまで開発されてきた13.5nmの光源では開口数や多層膜鏡,マスクまで設計から製造まで高度に改善することが求められるからである.そこで,解像度を上げるために,更なる短波長光源が必要になってくる可能性があるというわけである.ここでは,ポストEUV光源としての波長6.x nm光源の進展について紹介することにする.

• 2013-10-25

著者

• 藤岡 慎介

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

• 鈴木 千尋

  核融合科学研究所

• 西村 博明

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

• 坂上 和之

  早稲田大学理工学研究所

• 鷲尾 方一

  早稲田大学理工学術院総合研究所

• 西村 博行

  阪大レーザ研

• 大塚 崇光

  宇都宮大院工

• 鷲尾 方一

  早稲田大学 理工学総合研究センター

• 藤岡 慎介

  レーザーエネルギー学研究センター

• 大塚 崇光

  宇都宮大学大学院工学研究科

• 大塚 崇光

  宇都宮大学

• 遠藤 彰

  早稲田大学

• 藤岡 慎介

  大阪大学レーザーエネルギー学センター

• 東口 武史

  宇都宮大学

• 東口 武史

  宇都宮大工:宇都宮大CORE

• 遠藤 彰

  チェコ科学アカデミーHiLaseプロジェクト:早稲田大学理工学術院

• 鷲尾 方一

  早稲田大学理工学術院総合研究所理工学研究所

• 鵜篭 照之

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

• 遠藤 彰

  早稲田大学理工学術院総合研究所理工学研究所:チェコ科学アカデミー物理部門HiLASEプロジェクト

• 坂上 和之

  早稲田大学理工学術院総合研究所理工学研究所

• 藤岡 慎介

  大阪大学レーザー核融合研究センター

• 鷲尾 方一

  早稲田大学

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