レーザー生成スズプラズマからの極端紫外光発生の放射流体シミュレーション

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概要

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• 次世代の半導体露光用光源として注目されるレーザー生成スズプラズマからの極端紫外光(Extreme Ultra-Violet:EUV)を一次元,および二次元の放射流体コードを用いて解析した.我々は輻射過程を正確に計算するために,詳細原子コードを用いてスズプラズマのX線放射率,吸収率を計算し,その遷移エネルギーの精度を実験的に確認した.精度が検証された原子データを基に光励起を考慮した一次元放射流体シミュレーションを行い,EUV光のプラズマ中での自己吸収が輻射輸送において重要であることを見出した.さらにプラズマのスケール長がレーザースポットサイズと同等か,もしくは大きい場合には多次元的なプラズマの膨張が無視できないため,二次元放射流体コードを用いて解析を行った.その結果,プラズマの多次元な膨張が無視できない場合にはEUVの吸収スペクトルが滅少し,EUV出力が増大することを見出した.また,計算で得られたスペクトルは実験値をよく再現している.

• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 2007-11-25

著者

• 西村 博明

  阪大レーザー研

• 藤岡 慎介

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

• 砂原 淳

  レーザー技術総合研究所

• 三間 圀興

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

• 宮永 憲明

  阪大レーザー研

• 田沼 肇

  首都大理工

• 小池 文博

  北里大医

• 佐々木 明

  日本原子力研究開発機構 量子ビーム応用研究部門

• 西村 博明

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

• 西原 功修

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター:(株)浜松ホトニクス:(有)キャトルアイ・サイエンス

• 宮永 憲明

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

• 井澤 靖和

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

• 山浦 道照

  レーザー総研

• 島田 義則

  レーザー技術総合研究所

• 山浦 道照

  レーザー技術総合研究所

• 島田 義則

  (財)レーザー技術総合研究所

• 佐々木 明

  日本原子力研究開発機構 関西光科学研究所

• 島田 義則

  財団法人レーザー技術総合研究所レーザー加工計測研究チーム

• 井澤 靖和

  大阪大学・レーザー核融合研究センター

• 井澤 靖和

  大阪大学 レーザー核融合センター

• 井澤 靖和

  大阪大学

• 西川 亘

  岡山大学工学部

• 小池 文博

  北里大学医

• 小池 文博

  北里大 医

• 西川 亘

  岡山大

• 小池 文博

  北里大

• 小池 文博

  北里大学医学部

• 小池 文博

  北里大学

• 田沼 肇

  首都大学東京大学院理工学研究科物理学専攻

• 西原 功修

  大阪大学 レーザーエネルギー学研究センター

• 青田 達也

  阪大レーザー研

• 青田 達也

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

• 佐々木 明

  日本原子力研究所関西光量子科学研究センター

• 西原 巧修

  阪大レーザー研究センター

• 島田 義則

  レーザー技術総合研

• 田沼 肇

  首都大学東京

• 井沢 靖和

  大阪大学

• 藤岡 慎介

  大阪大学レーザーエネルギー学センター

• 西原 功修

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

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