4.高Zプラズマのパラメータ診断(<小特集>プラズマによる短波長光源研究の進展とその物理)
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概要
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多価電離プラズマ光源の一つである,レーザー生成方式極端紫外(EUV)光源プラズマのための,協同的トムソン散乱計測システムの開発を行っている.システム構築のために,まずはレーザー生成炭素プラズマのイオン項スペクトルを計測することで,その電子密度,電子温度,イオン温度,平均イオン価数の局所値を求めた.計測用レーザーにはNd:YAGレーザー第2高調波(波長532nm)を使用した.この時,イオン項のスペクトル幅は0.3nm程度と予想される.イオン項スペクトル計測のために,高い波長分解能と迷光除去性能を有する,差分散型トリプル分光器を作製した.本計測システムを用いて,EUV光源プラズマと同様の電子密度(10^<24>-10^<25>m^<-3>),電子温度(30-50eV)の炭素プラズマに対して,トムソン散乱計測が可能なことを示した.炭素プラズマの計測結果を基に,実際のEUV光源で使用されるスズプラズマのための新たな分光器の開発を行っている.
- 2013-10-25
著者
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