Electron Temperature and Density Profiles in a Neutral Loop Discharge Plasma
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1997-01-15
著者
-
Muraoka Katsunori
Interdisciplinary Gt-aduate School Of Engineering Sciences Kyushu Universit
-
Muraoka Katsunori
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Matsuo Keiji
Fukuoka Institute Of Technology
-
SAKODA Tatsuya
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
UCHINO Kiichiro
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
IWAMIYA Hironori
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
ITOH Masahiro
ULVAC Japan, Ltd
-
UCHIDA Taijiro
ULVAC Japan, Ltd
-
Sakoda Tatsuya
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Iwamiya Hironori
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Uchida Taijiro
Ulvac Japan Ltd
-
Uchino Kiichiro
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Science Kyushu University
-
Uchino Kiichiro
Department Of Energy Conversion Kyushu University
-
Sakoda T
National College Of Technology
-
Uchino K
Kyushu Univ.
-
Sakoda Tadanori
Department Of Electronics And Control Engineering Kitakyushu National College Of Technology
-
Sakoda Tomoyuki
Si Technology Development Texas Instruments Inc.
-
Itoh Masahiro
Ulvac Japan Ltd
-
Sakoda Tomoyuki
National College of Technology
-
Uchino Kiichiro
Interdisciplinary Graduate School of Engineering and Sciences, Kyushu University, Kasuga, Fukuoka 816-8580, Japan
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