A Study of Sheath Electric Fields in Planar Magnetron Discharges using Laser Induced Fluorescence Spectroscopy
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1996-11-15
著者
-
Choi Young
Inter-university Semiconductor Research Center Seoul National University:school Of Electrical Engine
-
Muraoka Katsunori
Interdisciplinary Gt-aduate School Of Engineering Sciences Kyushu Universit
-
Muraoka Katsunori
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Matsuo Keiji
Fukuoka Institute Of Technology
-
Bowden M
Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Choi Y
Optoelectronics And Optical Communication Laboratory School Of Electrical And Electronic Engineering
-
BOWDEN Mark
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University
-
Choi Y
Korea Electrotechnology Res. Inst. Kyungnam Kor
-
ボーデン マーク
九州大学大学院総合理工学研究科
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