電子線描画ポリイミド光導波路の特性
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概要
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フッ素化ポリイミド(F-PI)フィルムに電子線を照射することにより屈折率を精密に制御できることを明らかにし、この現象を利用して埋込型シングルモード光導波路を単一材料で作製する方法を検討している。本報では、電子線照射によりF-PI中に生ずる屈折率分布の測定結果と、作製した直線および曲がり光導波路の透過損失・導波モードの導波路幅依存性・電子線照射密度依存性の検討結果を報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-09-18
著者
-
石井 哲好
NTT光エレクトロニクス研究所
-
玉村 敏昭
NTT光エレクトロニクス研究所
-
阪田 知巳
Ntt境界領域研究所
-
玉村 敏昭
Ntt 光エレクトロニクス研究所
-
丸野 透
Ntt境界領域研究所
-
丸野 透
Ntt光エレクトロニクス研究所
-
石井 哲好
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
佐々木 重邦
NTT境界領域研究所
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