反射型ポリイミド波長板の作製とその特性

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概要

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我々は剛直な分子構造を持つフッ素化ポリイミドを一軸延伸することにより水晶1/2波長板の1/6以下の膜厚のポリイミド1/2波長板を開発した。このポリイミド波長板を石英系光導波回路に挿入したところ偏波依存性を低過剰損失(0.26dB)で解消することができた。一方、LiNbO_3(LN)導波路からなる反射型アレイ導波路格子における偏波依存性は1/4波長板と反射膜を用いた反射型1/2波長板により解消可能であり、反射型波長板の過剰損失は約6dBであるという報告がある。反射型波長板においても過剰損失の低減は重要と考えられ、そのためには波長板の薄膜化が有効である。本報告では、1/2波長板の膜厚と結合損失の関係を計算し、次いでポリイミド1/4波長板に金反射膜を直接形成した反射型1/2波長板を作製し、反射膜の付着性、反射率、偏波変換度及び耐熱性を評価した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1995-09-05

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