面発光レーザスマートピクセル集積技術の検討
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Si-LSIと光素子をポリイミド接着を用いて3次元集積する技術を開発した。このポリイミド接着は大面積、高密度に光素子をSi-LSI上に集積できる技術である。この技術の可能性を示すために、電気配線のみのシリコン基板上にMSM-PDアレイを作製し光感度0.3A/Wを得た。また、Si基板上に面発光レーザアレイを作製し、しきい値電流3.5mA、最大光出力1.2mWを得た。この技術で最も問題になると予想されるレーザの温度特性を測定し、接着部分のポリイミドの膜厚が温度特性に大きく影響することがわかった。さらに、熱抵抗の計算を行い、ポリイミド膜厚が0.1μm程度となれば通常のGaAs基板上の素子とほぼ同程度の温度特性が期待できることがわかった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-02-13
著者
-
津田 裕之
NTT光エレクトロニクス研究所
-
黒川 隆志
NTT光エレクトロニクス研究所
-
舘野 功太
NTTフォトニクス研究所
-
舘野 功太
NTT光エレクトロニクス研究所
-
松尾 慎治
NTT光エレクトロニクス研究所
-
津田 裕之
慶応義塾大学理工学部
-
舘野 功太
日本電信電話(株)NTT物性科学基礎研究所
-
津田 裕之
日本電信電話株式会社 光エレクトロニクス研究所
-
中原 達志
NTT光エレクトロニクス研究所
-
館野 功太
NTT光エレクトロニクス研究所
関連論文
- 化合物半導体フォトニック結晶超小型共振器をベースとする全光メモリ(量子効果デバイス(光信号処理,LD,光増幅,変調等)と集積化技術,一般,材料デバイスサマーミーティング)
- 化合物半導体フォトニック結晶超小型共振器をベースとする全光メモリ(量子効果デバイス(光信号処理,LD,光増幅,変調等)と集積化技術,一般,材料デバイスサマーミーティング)
- C-4-6 位相変調光のスペクトル制御による短パルス列発生回路の検討(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス)
- 可飽和吸収体光ゲートを用いた10 Gbit/s全光識別実験
- 4x1204ホログラム型光スイッチの損失とクロストークの測定
- 4 x 222ホログラム光スイッチの実験
- 微細金属スリットを介したフェムト秒レーザーアブレーション
- 時空間光処理型分散スロープ補償回路を用いた広帯域波長多重伝送実験
- B-10-94 アレイ導波路格子(AWG)と位相フィルタとを用いた40Gbit/s, 16ch-WDM用分散スロープ補償器
- B-10-59 アレイ導波路格子(AWG)とステップ型位相フィルタによるPSK-DD受信器を用いた10Gbit/s, 100km伝送実験
- アレイ導波路格子(AWG)による位相変調-強度変調変換実験
- 並列光インターコネクション用850nm帯面発光レーザアレイ
- 波長850nm帯(311)B-GaAs基板上偏波制御型面発光レーザ及び(100)基板上モード制御用埋込型面発光レーザ
- C-4-12 偏波制御面発光レーザ
- C-3-96 面発光レーザとポリマー光導波路を用いた光インターコネクションの検討
- C-3-89 850nm帯偏波制御型(311)B面上面発光レーザの伝送特性の検討
- 偏波制御型850nm帯(311)B GaAs基板上面発光レーザの偏波安定性及び伝送特性の検討
- 面発光レーザを用いたポリマー光導波路の損失測定
- 光横注入型双安定レーザ(SILC-BLD)を用いた高速光NRZ信号の光直接DEMUX動作
- Wafer fusion を用いた1.55μm帯面発光レーザ
- 2段構成ディジタル再生型フリースペース光スイッチの実験
- 面形光スイッチ(EARS)の素子動作特性
- アレイ導波路回折格子と光周波数コムを用いた光パルスシンセサイザー
- アレイ導波路回折格子と光周波数コムを用いた任意波形パルス発生(IPバックボーンネットワーク, フォトニックネットワークの構成/管理/制御プロトコル技術及び一般)
- C-3-4 アレイ導波路回折格子を用いた任意波形光パルス発生器(C-3. 光エレクトロニクス(変調器・光信号処理), エレクトロニクス1)
- C-3-3 多モード導波路部に平行電極を用いた多モード干渉型光スイッチの提案(光スイッチ(I),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- C-3-7 局発周波数コムの生成とDWDM伝送信号のホモダイン検出(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)
- p型シリコンにおける超高速キャリア・フォノンダイナミクスの観測
- 空間光変調器と並列光演算
- ディジタル光演算法
- レーザ型光スイッチを用いた光信号処理
- レーザ型光スイッチを用いた光信号処理
- 光横注入型双安定レーザ(SILC-BLD)モジュールの光応答特性
- ディジタル再生型光スイッチとその応用 (光スイッチングデバイス)
- 光デジタル再生型波長変換素子の検討
- 光横注入型双安定レーザを用いたデジタル再生型波長変換の検討
- アレイ導波路回折格子と位相フィルタによる任意パルス列発生実験
- アレイ導波路回折格子による高次分散制御実験
- アレイ導波路格子光パルスシンセサイザ(AWG-OPS)による短パルス列発生実験
- 集積型モード同期LDで生成した4.4psパルスの20Gbit/s-1000km伝送系における等化実験
- 集積型モード同期LDを用いた20Gbit/s-150km無中継伝送実験
- 5)超高速可飽和吸収体光ゲートを用いた光処理技術とその光識別, 光時分割分離回路への適用(無線・光伝送研究会)
- 超高速可飽和吸収体型光ゲートを用いた光処理技術とその光識別、光時分割分離回路への適用
- 超高速可飽和吸収体型光ゲートを用いた光処理技術とその光識別、光時分割分離回路への適用
- 超高速可飽和吸収体光スイッチを用いた短光パルス識別再生実験
- 超高速可飽和吸収体光ゲートを用いた全光識別回路の識別特性
- 超高速可飽和吸収体光ゲートを用いた3ps,2.4Gbit/s全光短パルス識別再生実験
- インタコネクション用光デバイス
- 液晶空間光変調器の技術動向
- 並列光インターコネクション用面発光レーザ、受光素子アレイ
- 面形OEICを用いたSmart Pixel : MQW変調器ベースと面発光レーザベースの比較
- 面発光レーザの均一性と伝送特性の関係
- 2B16 強誘電性液晶空間光変調器の設計
- 液晶を用いた光処理デバイス
- 4)STN液晶空間光変調器(情報ディスプレイ研究会)
- STN液晶空間光変調器
- 5)液晶空間変調器と光コンピューティング(情報ディスプレイ研究会)
- 液晶空間変調器と光コンピューティング : 情報ディスプレイ : 液晶材料・デバイス関連
- B-10-76 時空間光処理型広帯域分散スロープ補償器を用いた640Gbit/s(16chx42.7Gbit/s)波長多重伝送実験
- アレイ導波路格子を用いた時空間変換光信号処理と通信および情報処理への応用
- 時空間変換による光信号処理 (特集 スペクトラルホログラフィー)
- AlGaAs基板上面発光レーザアレイの特性
- 頂角可変プリズムを用いたアクティブアライメント型超並列ボード間光インタコネクション
- 光通信および光情報処理用液晶デバイス (液晶)
- B-10-72 光非線形回路によるQ値改善効果の一検討
- 面発光レーザスマートピクセル集積技術の検討
- 25Gb/s級40ch光インタコネクション(ParaBIT)の開発(4) : ポリマー光導波路を用いた光結合構造
- 並列光インターコネクション用0.85μm帯面発光レーザ
- 探針集光型トンネル電子発光顕微鏡による量子構造評価
- 探針集光型トンネル電子発光顕微鏡による量子構造評価
- C-3-56 PLZTアレイ導波路回折格子とその応用(光スイッチ・変調器,C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- 並列光インタコネクションの現状と将来
- 面型光デバイスを用いた並列光インターコネクション
- ダブルパス構成とした偏波無依存型可変波長液晶光フィルタの検討
- 面発光レーザと光インターコネクション
- 面発光レーザの光スイッチングへの応用
- 偏波無依存液晶可変波長フィルタモジュールの特性
- デジタル光デバイスと信号処理への応用
- プラスチック光接続部品--超精密成形技術の適用
- 平行電極を有する多モード干渉光スイッチの提案と解析(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般)
- 180-Degree-Bend Structures Using Light Reflection at Double Elliptic Mirror in Slab Waveguide
- Beam Steering Type of 1:4 Optical Switch Using Thermo-Optic Effect
- Multistage Polymeric Lens Structures Integrated into Silica Waveguides
- 超高速光信号処理用アレー導波路回折格子(導波路型光デバイス論文)
- C-4-32 高分解能AWGと光コム発生器を用いた波長選択光パルス生成(C-4. レーザ・量子エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- 「フォトニックネットワークにおける全光型波長変換技術」特集号によせて
- 面発光型スマ-トピクセルとその応用 (特集「並列光情報処理」)
- 楕円ミラーを使った最小光路変換導波路
- 楕円ミラーを使った最小光路変換導波路
- Compact Silica Arrayed-Waveguide Grating Using High-Mesa Small-Bend Waveguides
- 高次高調波パルスによるGaAs表面起電力効果の時間分解計測
- 自由空間光クロスコネクト用の石英光導波路を用いたビームコリメーター(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 自由空間光クロスコネクト用の石英光導波路を用いたビームコリメーター(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 自由空間光クロスコネクト用の石英光導波路を用いたビームコリメーター(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 自由空間光クロスコネクト用の石英光導波路を用いたビームコリメーター(光部品・電子デバイス実装技術,一般)
- 慶應義塾大学 理工学部津田研究室
- IN(Ga)As積層量子ドット構造におけるキャリア注入/放出特性のDLTS評価
- PLZT埋め込み型導波路を用いた200GHzチャネル間隔アレイ導波路回折格子の可変波長特性(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般)