探針集光型トンネル電子発光顕微鏡による量子構造評価
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概要
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探針集光型トンネル電子ルミネッセンス(TL)顕微鏡を用いて、GaAs(50nm)/AlAs(50nm)多重量子井戸構造の劈開面をTL測定した。波形ひずみを抑えて高速で鮮明なTL画像測定を可能にするフォトンカウンタを光測定系に用いた。TL像では個々のGaAs層とAlAs層を1画素(<3nm)レベルの空間分解能で明瞭に識別できた。探針集光型TL顕微鏡は個々の量子構造の電子・光学特性をナノメータレベルの空間分解能で実空間・複合評価する手段として有効である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-04-24
著者
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