探針集光型トンネル電子ルミネッセンス顕微鏡によるナノメータ構造の実空間特性評価

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概要

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• 日本表面科学会の論文
• 1998-01-10

著者

• 村下 達

  NTTシステムエレクトロニクス研究所

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