AlGaAs基板上面発光レーザアレイの特性
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概要
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面発光レーザは通常の導波路型レーザと比較して、単一縦モード発振、集積性、基板レベルでの検査可能など大きな特徴を持っている。受光素子との波長整合性の良い0.85μm帯面発光レーザは光インターコネクションなどへの応用を考えると非常に有望であるが、通常基板として不透明なGaAsを用いているため基板表面側からレーザ光を取り出す、いわゆる上面発光型に限られていた。しかしながら素子の熱放散あるいは両面アクセス構造などを考えると下面発光型の方が有利である。今回、我々は0.85μmで透明なAlGaAs基板上に8*8面発光レーザアレイを作製したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
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黒川 隆志
NTT光エレクトロニクス研究所
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大磯 義孝
NTTフォトニクス研究所
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大礒 義孝
NTTフォトニクス研究所
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大磯 義孝
NTT光エレクトロニクス研究所
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小濱 剛孝
NTT光エレクトロニクス研究所
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