EID2000-19 強誘電体直接電界放出型赤外イメージセンサの原理
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概要
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我々は真空中に保持した強誘電体に赤外線を入射させ、その自発分極値変化を電極にない材料表面からそのまま電子放出をさせる新しい赤外センサを提案する。試作センサは、高絶縁基板上に約十ミクロンの空隙を設けた溝に電極を設け、PZT素子を入射面側を電極する方位でマウントする。素子の裸面と溝電極の電極間で直流1000V以上の高電圧を印加する。真空中で実験の結果、赤外入射時のエネルギーに応じた電子放出を確認し、放出電流値が増加した。アノード電圧が増加するに応じて放出電流値も増加した。アノード電圧値の極性を逆にすると、電子放出は起こらないことを確認できた。また従来の焦電型センサの感度と比較検討し、焦電体の焦電流を電子放出する変換効率を議論した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-06-16
著者
-
石田 誠
豊橋技術科学大学電気・電子工学系
-
澤田 和明
豊橋技術科学大学電気・電子工学系
-
石田 誠
豊橋技術科学大学
-
冨田 勝彦
豊橋技術科学大学
-
澤田 和明
豊橋技術科学大学
-
高室 大介
豊橋技術科学大学電気・電子工学系
-
高室 大介
豊橋技術科学大学
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