SiO_2/ZnO/ダイヤモンド/Si構造SAWフイルタの検討
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概要
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高速光通信では、光パルスの再生の際に非常にQの高い温度安定な高周波SAWフィルターが必要となる。このフィルターの候補として我々は、高速材料であるダイヤモンドを基材に利用し、SiO_2の積層により温度特性の改善が可能となる(SiO_2/ZnO/ダイヤモンド/Si)構造を提案してきた。今回、ZnO、SiO_2各層の膜質、及び、膜厚を最適化することにより温度係数の小さな光通信用狭帯域2.SGHzダイヤモンドSAWフィルターの試作に成功したのでその結果について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
-
山本 泰司
日本電気(株)
-
中幡 英章
住友電気工業株式会社 半導体技術研究所
-
鹿田 真一
住友電気工業(株)itコンポーネント事業部
-
高橋 義弘
日本電気株式会社
-
藤井 知
住友電気工業(株)ITコンポーネント事業部
-
檜垣 賢次郎
住友電気工業株式会社伊丹研究所
-
北林 弘之
住友電気工業株式会社伊丹研究所
-
坂入 夏彦
日本電気(株)第二伝送通信事業部
-
高橋 義弘
日本電気(株)第二伝送通信事業部
-
中幡 英章
住友電気工業(株)伊丹研究所
-
中幡 英章
住友電気工業(株)itコンポーネント事業部
-
中幡 英章
住友電気工業
-
桧垣 賢次郎
住友電気工業 伊丹研
-
山本 泰司
日本電気(株)第二伝送通信事業部
-
北林 弘之
住友電気工業 伊丹研
-
鹿田 真一
住友電気工業 オプトエレクトロニクス研
-
北林 弘之
住友電気工業
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