ダイヤモンド/Si基盤を用いた1.5GHz帯トランスバーサル型SAWフイルタ
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概要
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ダイヤモンド/Si基板を用いたSAWデバイスは、約10,000m/sの高音速を利用でき高周波化に有利な為、1GHz以上の超高周波帯デバイスとして有望視されている。筆者らは、以前にこのダイヤモンド/Si基板を用いたSAWデバイスの実現性検討の一つとして、ZnO/ダイヤ/Si構造の1.5GHz帯低損失共振器型フィルタの試作例を報告した。今回、さらにZnO/ダイヤ/Si構造の応用例として、1.5GHz帯トランスバーサル型SAWフィルタを検討し良好な特性が得られたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
-
山本 泰司
日本電気株式会社
-
中幡 英章
住友電気工業株式会社 半導体技術研究所
-
鹿田 真一
住友電気工業(株)itコンポーネント事業部
-
高橋 義弘
日本電気株式会社
-
藤井 知
住友電気工業(株)ITコンポーネント事業部
-
檜垣 賢次郎
住友電気工業株式会社伊丹研究所
-
北林 弘之
住友電気工業株式会社伊丹研究所
-
坂入 夏彦
日本電気株式会社
-
中幡 英章
住友電気工業(株)伊丹研究所
-
中幡 英章
住友電気工業(株)itコンポーネント事業部
-
中幡 英章
住友電気工業
-
桧垣 賢次郎
住友電気工業 伊丹研
-
山本 泰司
日本電気(株)第二伝送通信事業部
-
北林 弘之
住友電気工業 伊丹研
-
鹿田 真一
住友電気工業 オプトエレクトロニクス研
-
北林 弘之
住友電気工業
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