ダイヤモンドSAWフィルター
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概要
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物質中で最高の音波伝搬速度を持つダイヤモンドのSAW材料への応用を考え、理論計算及び実験による基礎検討を行った。ZnO/ダイヤ構造では従来材料の倍以上のSAW伝搬速度があることを確認し、GHz帯SAWフィルターへの応用に有利であることを示した。また実際にCVDダイヤモンド膜を用いて1.5GHz帯SAWフィルターを試作した。さらに、SiO2/ZnO/ダイヤ構造では高伝搬速度に加えて零温度係数が可能であることを示し、実際に2.5GHz狭帯域フィルターを試作した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-07-22
著者
-
田辺 敬一朗
住友電気工業(株)
-
山本 泰司
日本電気株式会社
-
中幡 英章
住友電気工業株式会社 半導体技術研究所
-
鹿田 真一
住友電気工業(株)itコンポーネント事業部
-
高橋 義弘
日本電気株式会社
-
藤井 知
住友電気工業(株)ITコンポーネント事業部
-
北林 弘之
住友電気工業株式会社伊丹研究所
-
桧垣 賢次郎
住友電気工業株式会社 伊丹研究所
-
八郷 昭宏
住友電気工業株式会社伊丹研究所
-
坂入 夏彦
日本電気株式会社
-
梶原 隆治
日本電気株式会社
-
八郷 昭宏
住友電気工業 伊丹研
-
中幡 英章
住友電気工業(株)伊丹研究所
-
中幡 英章
住友電気工業(株)itコンポーネント事業部
-
中幡 英章
住友電気工業
-
梶原 隆治
Nec
-
田辺 敬一朗
住友電気工業
-
桧垣 賢次郎
住友電気工業 伊丹研
-
山本 泰司
日本電気(株)第二伝送通信事業部
-
北林 弘之
住友電気工業 伊丹研
-
鹿田 真一
住友電気工業 オプトエレクトロニクス研
-
北林 弘之
住友電気工業
-
田辺 敬一郎
住友電気工業
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