ZnO/ダイヤモンドSAWフィルタの耐電力性
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概要
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近年の通信の高周波化に伴い、より高周波で機能するSAWフィルタの開発が盛んに行われている。しかしながら、SAWフィルタは、動作周波数が高くなるにつれ電極指の線幅が細くなるため、送信用フィルタや分波器等の用途において、高周波帯での耐電力性が問題となる。これまでに、1.5GHz以下の移動体通信用途では、Al電極の改善等により、従来材料を用いた実用的な耐電力フィルタが開発されているが、今後ますます需要が高まると考えられる1.5GHz以上の帯域では、その耐電力性の向上が大きな課題となっている。今回我々は、伝播速度が大きく高周波化に有利なZnO/ダイヤモンドSAWフィルタの耐電力性を評価し、従来材料であるLiTaO_3(X-112Y)と比較を行ったので、その結果について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
-
田辺 敬一朗
住友電気工業(株)
-
中幡 英章
住友電気工業株式会社 半導体技術研究所
-
鹿田 真一
住友電気工業(株)itコンポーネント事業部
-
藤井 知
住友電気工業(株)ITコンポーネント事業部
-
北林 弘之
住友電気工業株式会社伊丹研究所
-
桧垣 賢次郎
住友電気工業株式会社 伊丹研究所
-
関 裕一郎
住友電気工業株式会社 伊丹研究所
-
中幡 英章
住友電気工業(株)伊丹研究所
-
中幡 英章
住友電気工業(株)itコンポーネント事業部
-
中幡 英章
住友電気工業
-
田辺 敬一朗
住友電気工業
-
関 裕一郎
住友電気工業 伊丹研
-
桧垣 賢次郎
住友電気工業 伊丹研
-
北林 弘之
住友電気工業 伊丹研
-
鹿田 真一
住友電気工業 オプトエレクトロニクス研
-
関 祐一郎
住友電気工業株式会社 伊丹研究所
-
北林 弘之
住友電気工業
-
田辺 敬一郎
住友電気工業
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