PB8 超薄膜SAWデバイスへのイオンビームスパッタAl膜の適用(ポスターセッションB)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1992-11-30
著者
-
山本 泰司
日本電気(株)
-
上條 敦
NEC機能デバイス材料研究本部
-
三塚 勉
NEC基礎研究所
-
上條 敦
日本電気(株)基礎研究所
-
山本 泰司
第二伝送通信事業部
-
三塚 勉
日本電気(株)基礎研究所
-
友常 薫
日本電気(株)伝送共通技術本部
-
田道 繁
日本電気(株)伝送共通技術本部
-
山本 泰司
日本電気(株)第二伝送通信事業部
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