高配向Al-SAWデバイス電極の耐電力性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
携帯電話やPHSに代表される移動体通信の急速な発展に伴い、通信機器の軽薄短小化のキーデバイスとして普及している弾性表面波(SAW)デバイスには、近年、高耐電力化が要求され、デバイスのAl電極としては、ストレスマイグレーションの起きにくい、優れた結晶性が必要とされる。我々は、イオンピームスパッタ装置を用いて、極薄膜金属下地膜上にAlを堆積させることによい基板の種類に関係なく、[111]方位に成長した高配向Al膜が得られることを見出した。この高配向Al電極膜を用いたSAWフィルタの耐電力寿命は可従来の蒸着多結晶Al電極のものに比べ、3,000倍以上の長寿命を有することが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
-
上篠 敦
NEC基礎研
-
大塚 英一
Nec 第二伝送通信事業部
-
高橋 義弘
日本電気株式会社
-
松倉 徳丞
NEC基礎研究所
-
大塚 英一
NEC第2伝送通信事業部
-
高橋 義弘
NEC第2伝送通信事業部
-
坂入 夏彦
NEC第2伝送通信事業部
-
山本 泰司
NEC第2伝送通信事業部
-
松倉 徳丞
NEC 第二伝送通信事業部
-
山本 泰司
日本電気(株)第二伝送通信事業部
関連論文
- 29a-PS-19 中性子散乱でみたFe/Cr人工格子の界面の乱れ
- ダイヤモンドSAWフィルター
- SiO_2/ZnO/ダイヤモンド/Si構造SAWフイルタの検討
- ダイヤモンド/Si基盤を用いた1.5GHz帯トランスバーサル型SAWフイルタ
- 移動体通信用SAWフィルタ (通信用デバイス特集)
- 高配向Al-SAWデバイス電極の耐電力性
- PHS用SAW IFフィルタ
- OC3 高配向Al-SAWデバイス電極の耐電力性(超音波デバイス)
- 新共振合成法を用いたPHS用SAW IFフィルタ
- ダイヤモンド基板を用いたSAW共振器型フィルタの基礎検討
- A-227 ダイヤモンド基板を用いたSAW共振器型フィルタの基礎検討(A-11. 超音波,一般講演)
- K4 (ZnO/ダイヤモンド/Si)構造のGHz帯SAWフィルターの検討(弾性表面波デバイス)
- K2 二次元モード結合型SAW共振器フィルタの基礎検討(弾性表面波デバイス)
- 高配向Al電極によるGHz帯SAWフィルタの検討
- PB8 超薄膜SAWデバイスへのイオンビームスパッタAl膜の適用(ポスターセッションB)
- 30a-H-13 Co/Ag人工格子の構造と磁性
- 25p-N-16 Co/Cu系人工格子の磁気抵抗およびホール効果(II)
- 25p-N-15 エピタキシャルCo/Cu(111)超格子の磁気抵抗効果